Студопедия

КАТЕГОРИИ:


Архитектура-(3434)Астрономия-(809)Биология-(7483)Биотехнологии-(1457)Военное дело-(14632)Высокие технологии-(1363)География-(913)Геология-(1438)Государство-(451)Демография-(1065)Дом-(47672)Журналистика и СМИ-(912)Изобретательство-(14524)Иностранные языки-(4268)Информатика-(17799)Искусство-(1338)История-(13644)Компьютеры-(11121)Косметика-(55)Кулинария-(373)Культура-(8427)Лингвистика-(374)Литература-(1642)Маркетинг-(23702)Математика-(16968)Машиностроение-(1700)Медицина-(12668)Менеджмент-(24684)Механика-(15423)Науковедение-(506)Образование-(11852)Охрана труда-(3308)Педагогика-(5571)Полиграфия-(1312)Политика-(7869)Право-(5454)Приборостроение-(1369)Программирование-(2801)Производство-(97182)Промышленность-(8706)Психология-(18388)Религия-(3217)Связь-(10668)Сельское хозяйство-(299)Социология-(6455)Спорт-(42831)Строительство-(4793)Торговля-(5050)Транспорт-(2929)Туризм-(1568)Физика-(3942)Философия-(17015)Финансы-(26596)Химия-(22929)Экология-(12095)Экономика-(9961)Электроника-(8441)Электротехника-(4623)Энергетика-(12629)Юриспруденция-(1492)Ядерная техника-(1748)

Лучевые сканирующие системы




Существует несколько систем формирования пучка:

- с гауссовым распределением;
- с квадратным сечением;
- с круглым сечением.

При получении Гауссового распределения используется тот же принцип, что и при формировании луча в обычном электронном сканирующем микроскопе. С помощью двух или более линз электроны фокусируются на поверхность пластины так, что первоначальные размеры пучка, идущего от источника электронов, уменьшаются. Система обладает достаточной гибкостью, поскольку размеры сформированного пучка могут варьироваться в широких пределах путем изменения фокусного расстояния электронных линз.


 

Рис. 25. Сканирующая система с гауссовым распределением пучка.


Методы профилирования луча в системах с экспозицией электронами очень разнообразны. Основой сложных профилей является луч круглого сечения с гауссовым распределением плотности тока, обеспечивающий экспонирование одной точки изображения за некоторое время. Размер такого пучка, соответствующий полуширине гауссова распределения, определяет пространственное разрешение и обычно в 4-5 раз меньше минимального размера рисунка. Для систем с профилированными пучками пространственное разрешение зависит от спада интенсивности на краю результирующего профиля, поэтому большое количество точек изображения экспонируется одновременно без потери разрешения.

После фокусировки и профилирования пучок должен отклоняться по пластине с помощью электромагнитной системы.

Существует два основных способа перемещения пучка:




Поделиться с друзьями:


Дата добавления: 2014-01-20; Просмотров: 356; Нарушение авторских прав?; Мы поможем в написании вашей работы!


Нам важно ваше мнение! Был ли полезен опубликованный материал? Да | Нет



studopedia.su - Студопедия (2013 - 2024) год. Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав! Последнее добавление




Генерация страницы за: 0.009 сек.