Методы исследования изменений поверхностного слоя полимеров под действием плазмы

По роли субъектов рынка, По отраслям производства, По степени государственного регулирования, По форме продажи товаров, По характеру и объему продаж, По характеру связи между рынками, по степени легальности

Искусственная (регулируемая) монополия.

Краткая запись

Создается государством для защиты отдельных производи­телей от конкуренции с помощью юридических законов и ограничений.

Естественная монополия — предприятия, организации

. Состояние товарного рынка, при котором удовлетворение спроса на этом рынке эффективнее в отсутствие конкуренции в силу технологических особенностей производства

Рынок – совокупность взаимодействующих решений потребителей, производителей, совокупность сделок купли-продажи.

Рынок – разветвленная система договоров, сделок, контрактов, взаимных обязательств, отражающих вы своей совокупности рыночный процесс взаимодействия продавцов, покупателей и др. рыночных агентов.

Рынок – особого рода информационная система, которая руководствуется сигналами цен и обеспечивает использование знаний конкретных обстоятельств, сложившихся в определенном месте и времени; объективная система выработки и передачи информации.

Рынок – сфера добровольного обмена по рыночной цене, по цене, которая устраивает и потребителя, и производителя.

Рынок – сфера реализации частных интересов, определенный общественный институт, действующий в рамках формальных и неформальных норм общ. интересов.

Рынок – сфера взаимной передачи прав собственности.

Классификация рынков

Основными методами изучения травления полимерных материалов в плазме являются: измерение скорости убыли массы (весовой и пьезокварцевый методы) и скорости выделения газообразных продуктов (масс-спектрометрия) [2,6,7]. Они характеризуют скорость процесса травления, а метод масс–спектрометрии дает также представление о качественном и количественном составе газообразных продуктов (их основную массу составляют СO₂, СО, H₂, H₂O). Для получения данных о составе и структуре поверхностного слоя полимера используют методы ИК-спектроскопии, электронной спектроскопии для химического анализа (ЭСХА) и электронной микроскопии. Метод ИК–спектроскопии многократного нарушенного полного внутреннего отражения (МНПВО) позволяет получать данные о химической структуре (группы, связи) на поверхности и в приповерхностном слое до и после травления. Метод ЭСХА дает информацию об элементном составе и химической структуре (группы) полимера, а с помощью метода электронной микроскопии можно фиксировать изменения надмолекулярной структуры полимерного материала.

Одним из наиболее информативных методов исследования состава и структуры полимеров в процессе плазмохимической модификации является метод ИК–спектроскопии МНПВО [17], поскольку он позволяет изучать химическую природу материала в тонком слое (до нескольких мкм). Рабочими элементами приставки МНПВО служат кристаллы KRS–5, халькогенидное стекло, монокристаллы Si и Ge, обеспечивающие не менее 25 исходных отражений анализирующего луча при углах падения 30–60°. Использование современных приборов – ИК–Фурье–спектрометров (например, Bruker IFS66 FTIR, Nicolet Impact 400 IRF) позволяет не только получить высокое разрешение полос поглощения, но и фиксировать профили концентраций определенных структур на глубину до 10нм. Метод позволяет установить образование функциональных групп различной химической природы или изменение их количества (например, кислород–, азот– и фторсодержпщие структуры), фиксировать отрыв водорода и сшивание в поверхностном слое, а также прививку тонкого слоя на поверхности [18]. Для отнесения полос поглощения используют ряд монографий [17,19,20].

Не менее важные данные по составу и структуре модифицированных пленок могут быть получены с помощью метода ЭСХА [21]. Он позволяет не только иметь информацию о химическом составе очень тонкого поверхностного слоя полимера (20–100А°), но и путем послойного травления в условиях высокого вакуума получать данные об изменении состава и структуры материала по его толщине, т.е. определять глубину обработки в плазме [1,6]. Использование современных ЭСХА–спектрометров (например, Shimadzu–ESCA–750, Perkin Elmer–5300–PHI, Ulvac–Phi 5300) дает возможность проведения элементного анализа по C, N, O, Si, F, H, Cl, S и т.п. с расчетом спектров (например C_1s, O_1s, N_1s, Si_2p и др.), используя функции Гаусса по нелинейной схеме наименьших квадратов. На основании полученных данных можно рассчитать изменение элементного состава полимера, исходя из его элементарного звена. Следует особо отметить, что метод позволяет определять степень окисления поверхности и вид образующихся кислородсодержащих групп, потерю ароматичности путем насыщения или разрыва ароматического кольца, а также устанавливать виды других функциональных групп (азот– и фтор–содержащих, сульфогрупп и т.п.) [15, 16].

Метод электронной микроскопии (ЭМ), который широко используется для установления надмолекулярной структуры полимеров [22], позволяет получать важные результаты при исследовании тонких полимерных слоев, наносимых на поверхности плазмохимической полимеризацией [15]. С помощью ЭМ можно подтвердить сам факт плазмохимического осаждения слоя полимера на подложку иной химической природы, например, прививку кремнийорганического полимера на поверхность пористого ПП или полимера из винилимидазола на Kapton H^R. Метод позволяет также контролировать наличие порошкообразного полимера в структуре осаждаемого покрытия. Такой порошок при определенных условиях образуется в газовой фазе плазмы и встраивается в пленку, существенно ухудшая ее однородность, диэлектрические и электрофизические характеристики, т.е. свойства, которые важны при использовании пленок в микроэлектронике. ЭМ позволяет также фиксировать изменения профиля шероховатости и надмолекулярной структуры полимеров при травлении в плазме.

Дата добавления: 2014-01-11