Геоморфология и геология. При изготовлении интегральных схем очень важным аспектом является контроль технологических процессов

Контроль ПП ИМС

При изготовлении интегральных схем очень важным аспектом является контроль технологических процессов. Успешный контроль изготовления интегральных микросхем в основном зависит от знания процесса производства и заключается в измерении, визуальной проверке основных операций технологического процесса и использовании полученной информации для корректирования технологических режимов.

Метод визуального контроля включает осмотр схем под оптическим микроскопом и использование различных средств визуализации – наблюдение термографии. Существенные данные о состоянии пластины можно получить визуальной проверкой с помощью микроскопа с большим увеличением – от 80 до 400. При этом выявляются такие показатели, как состояние поверхности, избыточное или недостаточное травление, изменение толщины окисного слоя и правильность перехода.

Наличие в интегральных микросхемах большого количества конструктивных элементов – несколько сотен и тысяч пересечений проводников, переходов со слоя на слой, областей и выводов активных и пассивных компонентов, контактных площадок практически исключает стопроцентный контроль всех элементов по электрическим параметрам из-за высокой трудоемкости этой операции. В это же время необходимость такого контроля, особенно на этапе отработки и совершенствования технологии, очевидна.

Конспект лекций для студентов

специальности 1-56 02 01 «Геодезия»

В.И. Михайлов

Минск 2011

СОДЕРЖАНИЕ

	ВВЕДЕНИЕ
1.	Общие сведения о Земле
1.1.	Солнечная система и ее основные особенности
1.2.	Земля и ее геосферы
1.3.	Минералы и горные породы
2.	Геодинамические эндогенные процессы и их влияние на рельеф
2.1.	Тектонические движения
2.1.1.	Тектоника литосферных плит – современная геологическая теория
2.1.2.	Новейшие тектонические движения и их влияние на рельеф
2.2.	Магматизм и рельефообразование
2.3.	Сейсмические явления
3.	Основные этапы развития Земли
3.1.	Определение возраста горных пород. Фации
3.2.	Краткие сведения об эрах и периодах геологической истории Земли
3.3.	Геологические карты и разрезы, и их содержание
3.3.1.	Геологические карты
3.3.2.	Геологические разрезы
4.	Экзогенные процессы и рельеф
4.1.	Выветривание и рельефообразование
4.2.	Эоловые процессы
4.3.	Флювиальные процессы и формы
4.4.	Подземные воды. Суффозионные и карстовые процессы
4.5.	Гляциальные процессы и гляциальные формы рельефа
4.6.	Морские процессы
4.7.	Склоны, склоновые процессы и рельеф склонов
4.8.	Криогенные процессы
4.9.	Техногенные процессы
5.	Морфография и морфометрия
5.1.	Элементы, формы и типы рельефа земной поверхности
5.2.	Классификация форм рельефа
5.3.	Общая характеристика типов рельефа
5.4.	Типы рельефа
5.4.1.	Холмисто-моренный рельеф
5.4.2.	Долинно-балочный рельеф
5.4.3.	Горный рельеф
5.4.4.	Структурный рельеф
5.4.5.	Карстовый рельеф
5.4.6.	Вулканический рельеф
5.4.7.	Эоловый рельеф
6.	Космические исследования Земли
	Литература

Дата добавления: 2014-01-11