Эллипсометрия

КИРЬЯНОВ А.П.

Электронные средства коммуникации в инициативной группе

Для оперативной связи, обмена новостями, обсуждения актуальных тем незаменима электронная почта и специальные программы массовой рассылки писем. Таких программ (хоть бесплатных, которые можно скачать в интернете, хоть платных) сейчас огромное количество, и представлены они широким спектром: от простеньких — таких, как Mailer или Mailboy, позволяющих в основном редактировать список подписчиков рассылки, до продвинутых — таких, как Mega-MailerPro, где можно управлять режимами рассылок, менять кодировку сообщений и делать много чего другого.

Преимущества такой формы коммуникации не только в оперативной доставке информации до всех членов инициативной группы, но и в том, что любой подписчик рассылки может ответить на полученное письмо, и этот ответ точно так же увидят все остальные подписчики. Получается нечто вроде закрытого форума, с помощью которого можно проводить виртуальные конференции инициативной группы.

При необходимости модератор рассылки может добавлять в неё новые адреса или отписывать от рассылки тех, кто получать её не желает (есть программы, которые позволяют отписаться и самому получателю рассылки).

Некоторые почтовые сервисы, например, Googlemail, сами предоставляют услуги рассылок, подписчики которых могут не только общаться между собой и со всеми сразу, но и иметь доступ к текстовым документам, в которые можно вносить правки в режиме on-line (очень удобный сервис, когда требуется выработать и согласовать между членами группы текст какого-нибудь письма или заявления).

В последнее время бурное развитие получили группы по интересам в популярных социальных сетях «Одноклассники», «В Контакте», «Facebook» и др. Многие из них обладают признаками настоящих инициативных групп.

учебное пособие

Утверждено в качестве учебного пособия

Редакционно-издательским советом МГТУ имени Н.Э.Баумана

М.: МГТУ, 2013.

УДК 535.5; 537.533.2; 543.47; 621.328

К-12

Куратор РИС

Работа рассмотрена на заседании кафедры «Оптико-электронные приборы научных исследований» (РЛ2) (протокол №. от 2013 г.) и рекомендована к печати.

Заведующий кафедрой,

Автор, профессор, д.ф.-м.н. (Кирьянов А.П.)

РЕЦЕНЗЕНТЫ:

д.ф.-м.н., проф. (Жижин Г.Н.)

д.т.н., проф. (Родэ С.В.)

К-12 Кирьянов А.П. Эллипсометрия: учебное пособие / М.: ИИЦ МГТУ имени Н.Э.Баумана, 2013. – 186 с.

Учебное пособие «Эллипсометрия» отвечает нормативам Государствен-ных образовательных стандартов высшего профессионального образования и ориентировано на студентовМосковского государственного технического университета (МГТУ) имени Н.Э.Баумана и других соответственнных вузов по направлению 2002000268. Курс лекций по учебной дисциплине «Эллипсо-метрия» рассчитан на 51 учебный час. В нём с позиций единого методологи-ческого подхода изложены физические принципы и экспериментальные воз-можности и перспективы, а также и проблемы развития эллипсометрии как метода мониторинга в реальном времени функциональных процессов в микро- и наносистемах, а также и в других областях высоких наукоёмких технологий. С целью активного усвоения материала курса придаётся его программа и список контрольных вопросов для подготовки к текущим так называемым рубежам контроля самостоятельной работы студентов.

УДК 535.5; 537.533.2; 543.47; 621.328

© Кирьянов А.П.; © Московский государственный технический университет им.Н.Э. Баумана.

Содержание

стр.

Л.1. Введение 04

Л.2. Сложные системы и синергетика 12

Л.3. Поляризация света и однородная плоская ТЕ-волна 16

Л.4. Эллиптическая поляризация света 20

Л.5. Вектор Джонса и параметры Стокса для плоских ТЕ-волн 24

Л.6. Поляризаторы и анализаторы, компенсаторы и поляризационные

призмы. – часть 1. 29 Л.7. Поляризаторы и анализаторы, компенсаторы и поляризационные

призмы. – часть 2. 33 Л.8. Матрицы Джонса и их преобразования при повороте системы

координат. Круговая матрица Джонса 43

Л.9. Понятие о прямой и обратной задачах эллипсометрии 53

Л.10. Собственные поляризации оптических систем 61 Л.11. Нуль-эллипсометры и их автоматизация 66 Л.12. Ненулевыефотоэлектрическиеэллипсометры (рефракционные,

с дискретным изменением поляризации, интерференционные) 103 Л.13. Анализ погрешностей эллипсометрических измерений... Оценка чувствительности эллипсометров 111

Л.14.Методы спектроэллипсометрии и принципы построения спектро-.. эллипсометров. Спектральный фазомодуляционный эллипсометр 118

Л.15. Основы ИК фурье-спектрометрии; фазовая модуляция 124 Л.16. Интерферограммы; фурье-преобразование.Теорема Котельникова 132 Л.17. Основные уравнения ИК фурье-спектроэллипсометрии... Разрешение и чувствительность ИК фурье-спектроэллипсометра 137

Л.18. Трудности традиционной эллипсометрии при измерениях in situ... Понятие о холоэллипсометрии и холоэллипсометрах 144 Л.19. Холоэллипсометр-27 для измерений in situ. 151

Л.20. Уравнения холоэллипсометрии для одного и двух оптически...изотропных поглощающих слоёв на поглощающей подложке 156 Л.21. О симметризации аппаратной функции холоэллипсометра.

Гетеродинная холоэллипсометрия. Обнаружительная.. способность холоэллипсометра 169

Л.22. Интерференционная ИК фурье-спектрохолоэллипсометрия175

Л.23.Применения эллипсометрии-1:литографический мониторинг 192 Л.24. Применения эллипсометрии-2: мониторингадсорбции и окисления.. на поверхности тел; электрохимия; иммунологические реакции;.

. экология окружающей среды 204. Программа учебной дисциплины «Эллипсометрия» 201

Список вопросов к Контрольным рубежам 202

Дата добавления: 2014-01-13