Лекция 1. Введение

. Представляемая Вашему вниманию учебная дисциплина «Эллипсометрия» отвечает нормативам государственных образовательных стандартов высшего профессионального образования для студентов Национального исследовательского университета «МГТУ» имен7и Н.Э. Баумана... Содержание её задано учебной программой объёмом в 51 учебный час для лекций и 34 часа для самостоятельной работы студентов... Слово «эллипсометрия» в титульном названии учебной дисциплины обязано теоретическим и экспериментальным методам и научно-техническим средствам изучения поверхностей широкого класса планарных систем и текущего контроля (мониторинга) физических и технологических процессов, протекающих во времени на поверхности тел или границах их контакта... Применение методов и средств эллипсометрии в науке, технике, наукоёмких технологиях и на производстве опирается на способность (возможность) улавливать изменения в поляризации света при взаимодействия его с поверхностными и межслойными областями, с которыми имеют дело в наукоёмких технологиях, в частности, нанотехнологиях, биологии, медицине и экологии... ЦЕЛИ нашей учебной дисциплины:. –1) расширение профессионального кругозора и эрудиции будущих специалистов высшей квалификации в области фундаментальных и прикладных исследований и разработок в оптике и оптотехнике;. –2) знакомство с современными научными достижениями и актуальными задачами оптики и оптотехники как основы оптического приборостроения;. – 3) освоение эллипсометрии как направления фундаментальных и прикладных исследований и научно-технических разработок;. – 4) овладение основами методологии научно-исследовательских работ (НИР) и научно-исследовательских опытно-конструкторских работ (НИОКР);. –5) подготовка к НИР и НИОКР... ЗАДАЧА нашей учебной дисциплины – это достижение поставленных целей.. Для обеспечения этих целей и решения задачи предусмотрены:

–(1) лекции в 51 учебный час за 17 учебных недель,

–(2) самостоятельная работа на 34 часа за эти же 17 учебных недель;

–(3) рубежные контроли её выполнения:. а) рубежный контроль № 1 (1 час) в виде письменной работы на лекции № 9 по темам первых шести учебных недель (от темы «Сложные системы и синергетика» до темы«Матрицы Джонса и их преобразования»); б) рубежный контроль № 2 (1 час) в виде письменной работы на лекции № 18 по темам 7¸12 учебных недель (от темы «Прямая и обратная задача эллипсометрии» до темы «Интерференционная ИК фурье-спектроэллипсометрия);.–(4) зачёт;. – (5) учебно-методические материалы в виде основной и дополнительной литературы.

УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ Основная литература

1. Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет.– М.,1981...2. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. – М., 1970...3. Белл Р.Дж. Введение в фурье-спектроскопию. – М., 1966...4. Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия in situ: основы и применения. – М.. 2003. 5. Кирьянов А.П. Научно-технические проблемы естествознания. – М., 2003...6. Горшков М.М. Эллипсометрия. – М.: Советское радио, 1974...7. Урывский Ю.И. Эллипсометрия. – Воронеж, из-во Университета, 1971.

Дополнительная литература

1. Арнольд В.И. Теория катастроф. М., 1983.

2. Некорректные задачи естествознания. – М., 1987...3. Основы эллипсометрии. Под ред. Ржанова А.В. – Новосибирск, 1983... 4. Хакен Г. Синергетика. Иерархия неустойчивостей в самоорганизующихся системах и устройствах. – М., 1985... 5. Физический энциклопедический словарь. Главный редактор А.М.Прохоров. – М., 1984.

Дата добавления: 2014-01-13