Идея метода. Металлизация с использованием ионного распыления

Металлизация с использованием ионного распыления

Недостатки метода

Преимущества метода

Идея метода

Недостаток метода

Преимущества метода

• возможность использования больших по массе источников (не требуется перезагрузка при нанесении толстых пленок);
• возможность последовательного нанесения различных пленок из соседних источников, расположенных в одной камере;
• высокая скорость роста пленок;
• возможность напыления тугоплавких материалов.

• наличие ионизирующего излучения, проникающего в приповерхностные слои кремниевых подложек.

Металлизация с использованием
источников индукционного нагрева

Схема установки приведена на рисунке. В тигель, обычно изготовленный из нитрида бора, помещают испаряемый материал. Тигель нагревается с помощью высокочастотного индуктора, охлаждаемого водой.

С помощью данного способа возможно испарение алюминия и его сплавов, а также металлов, совместимых с материалом тигля.

• отсутствие ионизирующего излучения,
• высокая скорость роста пленок.

• наличие тигля, вызывающее дополнительные загрязнения,
• возможное разбрызгивание капель испаряемого материала из тигля.

Процесс заключается в бомбардировке ионами Ar, ускоренными в электрическом поле, поверхности мишени или катода. За счет передачи импульса мишени приповерхностные атомы испаряются и переносятся в виде пара на подложки. Поток энергии можно видоизменять посредством независимой регулировки ионного тока и энергии ионов.

Для распыления диэлектриков (двуокись алюминия или кремния) необходимо использовать источники ВЧ-энергии. Проводящие материалы (Ti, Pt, Au, Mo, W, Ni, Co) легко могут быть распылены с использованием разряда постоянного тока.

Дата добавления: 2014-12-27