Вакуумная система оже-спектрометра

Вакуумная система оже-спектрометра, представленная на рисунке 5.1, состоит из 2-х камер: камеры предварительного разрежения (используемой для загрузки образца) и рабочей камеры, в которой производиться снятие оже-спектра. Система откачки камеры предварительного разрежения состоит из турбомолекулярного, форвакуумного и магниторазрядного насосов. Для снятия уровня давления в камере предусмотрены манометрические преобразователи, предназначенные для контроля давления в различных диапазонах. Для анализа состава остаточной атмосферы используется газоанализатор. Линейный манипулятор обеспечивает перемещение образца в рабочем объеме. Система предварительной обработки образца включает в себя внешний нагреватель, электронную и ионную пушки.

Система откачки рабочей камеры состоит из магниторазрядного насоса. Давление в камере контролируется магниторазрядным манометрическим преобразователем ВМБ-8. Для визуального наблюдения за состоянием образца предусмотрено смотровое окно. Для анализа остаточной атмосферы в конструкции так же предусмотрен газоанализатор. Для перемещения образца в пространстве рабочего объема предусмотрен манипулятор.

Оже-приставка состоит из электронной пушки, ионного источника и детектора. Она используется для анализа поверхности. Для очистки поверхности в системе предусмотрены два вида пушек: ионная и электронная. Через шлюзовое устройство рабочий объем соединяется с камерой предварительной обработки образца.

Рабочая камера постоянно находится под высоким вакуумом, что обеспечивается магниторазрядным насосом.

Порядок включения вакуумной системы для загрузки образца:

1. Перекрыть шлюзовой клапан между рабочей камерой и камерой предварительного разрежения (загрузочной камерой).

2. Перекрываем клапан 1, после чего отключаем МРН 1.

3. Отключаем манометрические преобразователи камеры предварительной обработки образца (ВИ-14, ВМБ-8, ВИТ-2).

4. Напустить атмосферу в загрузочную камеру используя натекатель.

5. Загрузить образец в камеру предварительного разрежения.

6. Закрыть натекатель и клапан 4, открыть клапан 5 и 2. Включить форвакуумный насос.

7. С помощью ВИТ-2 оценить текущее значение вакуума в камере предварительного разряжения, обеспечиваемое форвакуумным насосом. При достижении давления в объеме значения 10^-3 Торр, обеспечить нагрузку объема на турбомолекулярный насос (т. е. включить его).

8. Включить высоковакуумный манометрический преобразователь ВИ-14. Откачать объем до 10^-5 Торр, значение уровня вакуума снимается при помощи ВИ-14.

9. По достижению необходимого уровня вакуума (10^-5 Торр) перекрыть клапан 2 и отключить турбомолекулярный насос. Перекрыть клапан 5 и отключить форвакуумный насос.

10. Открыть клапан 4 для выравнивания уровня давления в трубопроводе форвакуумного насоса.

11. Открыть клапан 1 и запустить магниторазрядный насос. Включить манометрический преобразователь ВМБ-8 для наблюдения уровня вакуума.

12. При достижении давления в объеме камеры предварительного разряжения значения 10^-7 Торр, обеспечить очистку образца от поверхностных загрязнений. Для очистки образца использовать электронную или ионную пушки либо внешний нагреватель, предусмотренный в конструкции системы.

13. Открыть шлюзовой клапан. При помощи передающего манипулятора переместить образец в рабочую камеру (поместив его в держатель анализатора).

14. Перекрыть шлюзовой клапан. Приступить к снятию и анализу оже-спектра.

15. Для загрузки в рабочую камеру нового образца последовательность действий аналогична пунктам 2÷13.

Дата добавления: 2015-05-09