Элемента мишени при распылении

Распыления от порядкового номера

Зависимость коэффициента

Данные для расчета коэффициента распыления

Коэффициент распыления различных материалов ионами одного и того же элемента также немонотонно зависит от порядкового номера элемента мишени Периодичность функции K_p (z₂) связана с периодичностью изменения энергии связи атомов.

ионами аргона с Еi = 400 эВ

В курсовой работе должны быть рассмотрены следующие обязательные материалы:

Титульный лист

Исходные данные для расчетов

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

1. ТЕОРИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ГАЗОВОГО РАЗРЯДА

1.1. Понятие плазмы и ее температура

1.2. Дебаевский радиус экранирования и идеальность плазмы

1.3. Плазменная частота

1.4. Проводимость плазмы

1.5. Диффузионные процессы в плазме

2. ТЕОРИЯ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ

2.1. Физические модели катодного распыления

2.2. Коэффициент распыления и факторы, влияющие на его величину

2.3. Технологические особенности процесса катодного распыления

2.4. Расчет коэффициента распыления

Государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московской области "Международный университет природы, общества и человека "Дубна""

Институт системного анализа и управления

Кафедра персональной электроники

ПОЯСНИТЕЛЬНАЯ ЗАПИСКА

к курсовой работе по дисциплине

«Физико-химические основы электронных средств»

на тему:__________________________________________________

_________________________________________________________

Студент (ка)_______________________________________________

(группа, фамилия, подпись, дата)

Специальность 211000.62 «Конструирование и технология ЭС»

Курсовая работа защищена_____________ Оценка_____________

ДУБНА 2014

Дата добавления: 2017-01-13