Подвижная

Рис. 35. Микромеханический наклономер

Наклономеры нужны:

- на транспорте - автомобиль, ж/д вагон;

- оптические инструменты;

- датчики уровня;

- для замены ртутных выключателей;

- в медицине (сердечные датчики и др.).

Закрепление инерционной массы производится на тонких балках в пределах промежутков подвижной массы. Балки получаются длинные (без увеличения габаритов чувствительного элемента). Съем информации производится с помощью тензорезисторов. Принцип работы ясен из рисунка: наклон датчика вызывает S-образные искривления балок. Информация об угле наклона балок может быть извлечена из сигналов двух сенсоров, датчики которых расположены в двух взаимно перпендикулярных плоскостях.

Конкретные приборы имеют примерно такие данные:

- подвижная масса – 5×5 мм,

- длина упругой балки – 510 мкм,

- ширина – 7 мкм,

- толщина – 5мкм.

Полный диапазон измеренных углов ± 80º.

Чувствительность ~ 1 мВ/градус наклона.

Дата добавления: 2014-01-05