КАТЕГОРИИ: Архитектура-(3434)Астрономия-(809)Биология-(7483)Биотехнологии-(1457)Военное дело-(14632)Высокие технологии-(1363)География-(913)Геология-(1438)Государство-(451)Демография-(1065)Дом-(47672)Журналистика и СМИ-(912)Изобретательство-(14524)Иностранные языки-(4268)Информатика-(17799)Искусство-(1338)История-(13644)Компьютеры-(11121)Косметика-(55)Кулинария-(373)Культура-(8427)Лингвистика-(374)Литература-(1642)Маркетинг-(23702)Математика-(16968)Машиностроение-(1700)Медицина-(12668)Менеджмент-(24684)Механика-(15423)Науковедение-(506)Образование-(11852)Охрана труда-(3308)Педагогика-(5571)Полиграфия-(1312)Политика-(7869)Право-(5454)Приборостроение-(1369)Программирование-(2801)Производство-(97182)Промышленность-(8706)Психология-(18388)Религия-(3217)Связь-(10668)Сельское хозяйство-(299)Социология-(6455)Спорт-(42831)Строительство-(4793)Торговля-(5050)Транспорт-(2929)Туризм-(1568)Физика-(3942)Философия-(17015)Финансы-(26596)Химия-(22929)Экология-(12095)Экономика-(9961)Электроника-(8441)Электротехника-(4623)Энергетика-(12629)Юриспруденция-(1492)Ядерная техника-(1748) |
Физико-химические основы процессов
формирования тонких слоев и покрытий на твердых подложках Способы формирования тонких слоев и покрытий на твердых подложках подразделяются на три основные группы: 1. Формирование в газовой фазе, обычно в вакууме, путем испарения, сублимации или распыления одного или нескольких, химически не взаимодействующих простых или сложных веществ и прямой конденсации частиц газовой фазы на поверхности подложки в результате только физического взаимодействия (методы физического осаждения паров - Physical Vapour Deposition, PVD). К этим методам относится также осаждение (эпитаксия) молекулярных пучков (Molecular Beam Epitaxy). 2. Формирование в газовой фазе из нескольких простых или сложных веществ, которые в результате химического взаимодействия или и/или разложения образуюn осаждающееся на поверхности подложки необходимое вещество (методы химического осаждения паров - Сhemical Vapour Deposition, CVD). При этом также возможно образование газообразных побочных продуктов реакции, выносимых из камеры с потоком газа. 3. Формирование из жидкой фазы (истинного или коллоидного раствора исходных компонентов) с последующим удалением растворителя и образованием необходимого вещества в результате химических превращений компонентов (растворы полимеров или преполимеров и золь-гелевая технология). 2.1. Процессы физического осаждения из газовой фазы (PVD). Основными стадиями этих процессов являются: 1. Генерация потока или пучка осаждаемого вещества - создание газа (пара) из частиц (атомов, молекул или их агрегатов - кластеров) осаждаемых материалов путем их испарения (evaporation), абляции (ablation) или распыления (sputtering), а также сочетанием этих процессов; 2. Перенос частиц к субстрату;
3. Конденсация частиц или осаждение (эпитаксия) молекулярных пучков на субстрате и формирование слоя или покрытия Классификация методов физического осаждения обычно базируется на процессе, протекающем на первой стадии: · термическое испарение резистивным нагревом; · испарение электрической дугой;
Преимуществами таких процессов генерации потока осаждаемого вещества являются:
1.1. Резистивный нагрев. В сверхвысоком вакууме (≤1,3·10–8 Па) вещество термически нагревается до температуры испарения или сублимации, после чего его атомы и молекулы конденсируются на подложке. Нагрев резистивным способом обеспечивается за счет тепла, выделяемого при прохождении электрического тока непосредственно через напыляемый материал или через испаритель, в котором он помещается. Конструктивно резистивные испарители подразделяются на проволочные, ленточные и тигельные и изготавливаются из тугоплавких металлов (вольфрама, тантала, платины) или графита. Способ применяется при напылении материалов, температура нагрева которых для испарения не превышает 1500 °С. Этот метод испарения имеет несколько других существенных недостатков: загрязнение напыляемого материала от нагревателя или тигля, ограничения по мощности нагревательных элементов. Это не позволяет использовать его для нанесения чистых пленок из материалов с высокой температурой плавления.
Дата добавления: 2014-12-25; Просмотров: 790; Нарушение авторских прав?; Мы поможем в написании вашей работы! Нам важно ваше мнение! Был ли полезен опубликованный материал? Да | Нет |