Одним из определяющих технологических процессов в микроэлектронике в течение более 40 лет продолжает оставаться литография. Литография или микролитография, нанолитография предназначена для создания топологического рисунка на поверхности пластины. Фотолитография - процесс избирательного травления поверхностного слоя с использованием защитной фотомаски. Базовый литографический процесс представлен на рис. 1 и включает в себя, по крайней мере, 10 ступеней.
Нам важно ваше мнение! Был ли полезен опубликованный материал? Да | Нет
studopedia.su - Студопедия (2013 - 2024) год. Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав!Последнее добавление