Вспомогательные элементы интегральных схем

В конструкциях интегральных схем необходимо предусмотреть наличие следующих вспомогательных элементов:

1) фигура совмещения.

Они необходимы для точного выполнения операции совмещения рисунков фотошаблона при фотолитографии с рисунками ранее совмещенных слоев. Их число на 1 меньше количества операций фотолитографии. Фигура совмещения может иметь форму треугольника, квадрата, креста, круга и так далее.

2) ключ – это какая-либо конструкторская особенность одной контактной площадки или других элементов, расположенных вблизи одной контактной площадки. Это позволяет без труда распознать ее и отличить от других. Это необходимо для правильной ориентации кристалла внутри корпуса. Ключом может служить отличная геометрия контактной площадки, знак на нее или фигура совмещения.

3) тестовые элементы.

В качестве тестовых элементов могут быть резисторы, диоды и транзисторы, которые дополнительно включаются в состав микросхемы для контроля результатов технологической операции по результатам характеристик отдельных слоев транзистора.

Например, в результате операции базовой диффузии можно судить по сопротивлению тестового резистора, а технологического процесса в целом – по параметрам тестового транзистора. Необходимость создания тестовых структур определяется очень малыми размерами активных областей элементов микросхем, параметры которых можно измерить после изготовления всего кристалла. В тестовых структурах размеры отдельных областей, окон и контактных площадок изготовлены увеличенного размера, так, чтобы без труда можно было подключить зонды. Это позволяет с помощью специальной многозондовой головки производить измерения параметров в процессе производства. Тестовые элементы обычно располагаются в центре пластины и еще в четырех точках ближе к периферии. Это позволяет контролировать качество операции на всей площади пластины до ее разрезания на кристаллы.

Дата добавления: 2014-01-11