Введение. Научный этап в развитии вакуумной техники начинается еще с 1643 года, когда в Италии Торричели измерил атмосферное давление

Научный этап в развитии вакуумной техники начинается еще с 1643 года, когда в Италии Торричели измерил атмосферное давление. В 1672 г. в Германии О.Герике изобрел механический поршневой насос с водяным уплотнением, что дало возможность проведения исследова­ний свойств разреженного газа.

В 1873 г. А.Лодыгин изобрел первый электровакуумный прибор - лампу накаливания с угольным электродом. В 1883 г. Т.Эдиссон отк­рыл термоэлектронную эмиссию.

В начале ХХ века были изобретены широко применяемые в настоя­щее время вакуумные насосы - вращательный, криосорбционный, моле­кулярный, диффузионный.

Техническое применение вакуума непрерывно расширяется, но с конца прошлого века и до сих пор наиболее важное его применение - электронная техника. Низкий и средний вакуум применяется в освети­тельных приборах и газоразрядных устройствах. Высокий вакуум - в приемно-усилительных и генераторных лампах, в электронно-лучевых трубках и сверхвысокочастотных приборах. Особенно широко вакуумная техника применяется в производстве микросхем, где процессы нанесе­ния тонких пленок, ионного травления обеспечивают получение элеме­нтов электронных схем субмикронных размеров.

В металлургии плавка и переплав металлов в вакууме освобожда­ет их от растворенных газов, благодаря чему они приобретают высо­кую механическую прочность, вязкость и пластичность. Сверхчистые вещества, полупроводники, диэлектрики изготавливаются в вакуумных кристаллизационных установках.

Диффузионная сварка в вакууме позволяет получать неразъемные герметичные соединения материалов с сильно различающимися свой-

ствами. Высококачественное соединение материалов с однородными

свойствами обеспечивает электронно-лучевая сварка в вакууме.

Применение вакуумных технологий позволяет получать упрочня­ющие и защитные покрытия, обладающие уникальным набором свойств.

Вакуумное осаждение выгодно отличается от других методов прецизион­ностью, практически неограниченными возможностями управлять струк­турой и свойствами покрытий, возможностью получать сочетания метал­лических и неметаллических материалов в покрытии практически недос­тижимые другими способами.

Типовая вакуумная установка включает в себя вакуумную камеру, насосы, соединительные трубопроводы, вакуумные затворы и средства контроля вакуума. Стандартами приняты следующие условные обозначения элементов вакуумных систем, рис 1:

Рис. 1. Условные обозначения элементов вакуумных систем на схемах

1. Физика вакуума

Дата добавления: 2014-01-13