Студопедия

КАТЕГОРИИ:


Архитектура-(3434)Астрономия-(809)Биология-(7483)Биотехнологии-(1457)Военное дело-(14632)Высокие технологии-(1363)География-(913)Геология-(1438)Государство-(451)Демография-(1065)Дом-(47672)Журналистика и СМИ-(912)Изобретательство-(14524)Иностранные языки-(4268)Информатика-(17799)Искусство-(1338)История-(13644)Компьютеры-(11121)Косметика-(55)Кулинария-(373)Культура-(8427)Лингвистика-(374)Литература-(1642)Маркетинг-(23702)Математика-(16968)Машиностроение-(1700)Медицина-(12668)Менеджмент-(24684)Механика-(15423)Науковедение-(506)Образование-(11852)Охрана труда-(3308)Педагогика-(5571)Полиграфия-(1312)Политика-(7869)Право-(5454)Приборостроение-(1369)Программирование-(2801)Производство-(97182)Промышленность-(8706)Психология-(18388)Религия-(3217)Связь-(10668)Сельское хозяйство-(299)Социология-(6455)Спорт-(42831)Строительство-(4793)Торговля-(5050)Транспорт-(2929)Туризм-(1568)Физика-(3942)Философия-(17015)Финансы-(26596)Химия-(22929)Экология-(12095)Экономика-(9961)Электроника-(8441)Электротехника-(4623)Энергетика-(12629)Юриспруденция-(1492)Ядерная техника-(1748)

Параметры процесса осаждения

Читайте также:
  1. Ableton Live параметры аудио клипа
  2. Ableton Live параметры миди клипа
  3. CONST-ПАРАМЕТРЫ
  4. II.2. Структура конфликтных взаимодействий между субъектами педагогического процесса
  5. Illustrator панель управления содержит параметры для текущего выбранного объекта. (В программе Adobe
  6. Автоматизация процесса бурения нефтяных или газовых скважин
  7. Автоматизация процесса добычи и первичной подготовки нефти
  8. АВТОМАТИЗАЦИЯ ПРОЦЕССА КОНВЕЙЕРНОГО ТРАСПОРТА
  9. АВТОМАТИЗАЦИЯ ПРОЦЕССА ПЕРЕДВИЖКИ РИЗАБОЙНОЙ КРПИ
  10. Автоматизация процесса расследования преступлений
  11. Автоматизация технологического процесса первичной сепарации нефти
  12. Автоматизированное управление ходом технологического процесса



Поликремний

Поликремний используется для различных целей:

  • в качестве затвора в МОП-приборах,
  • для формирования высокоомных резисторов,
  • в качестве диффузионных источников при создании мелких p-n переходов,
  • для формирования проводящих дорожек,
  • для обеспечения невыпрямляющих контактов к монокристаллическому кремнию.

Осаждаемый поликремний, как правило, не легирован. Примесь вводится обычно диффузией или ионной имплантацией. Примесь так же может вводится в процессе осаждения. При добавлении к поликремнию нескольких процентов кислорода он становится полуизолирующим материалом, что применяется в пассивации ИС.

Поликремний осаждается путем пиролиза силана при 600 - 650 °C в реакторах с пониженным давлением:

SiH4 Si + 2H2

Наиболее важными параметрами процесса осаждения поликремния являются:

  • Температура. Скорость осаждения быстро возрастает с ростом температуры. При повышении температуры более важную роль начинают играть химические процессы не на поверхности подложек, а в газовой фазе.
  • Давление. Давление газов в реакторе, работающем при пониженном давлении, можно варьировать путем изменения скорости газового потока при неизменной скорости откачки или путем изменения скорости откачки при постоянном расходе газовой смеси. Если входящий в реактор газ представляет собой смесь силана с азотом, то при постоянном расходе силана можно изменять расход азота или одновременно изменять расход обоих газов, сохраняя неизменным их соотношение в газовой смеси. Когда изменяется общий расход газовой смеси при неизменных скорости откачки и соотношении компонент газовой смеси, скорость осаждения линейно зависит от давления, но если меняется только скорость откачки или только расход азота, то скорость осаждения слабо зависит от давления.
  • Концентрация силана. Скорость осаждения поликремния обычно нелинейно зависит от концентрации силана. При высоких концентрациях силана фазообразование начинается уже в газовой фазе, поэтому существуют верхние пределы для концентрации силана в газовой фазе и скорости осаждения при заданных температуре и давлении в реакторе.
  • Концентрация легирующей примеси. Поликремний может быть легирован в процессе осаждения за счет добавления в реакционную смесь фосфина, арсина или диборана. Диборан вызывает сильное увеличение скорости осаждения, а добавление арсина или фосфина резко снижает скорость осаждения. При введении легирующих добавок, кроме того, уменьшается равномерность толщины осаждаемых пленок по поверхности подложки.




Дата добавления: 2014-12-27; Просмотров: 110; Нарушение авторских прав?;


Нам важно ваше мнение! Был ли полезен опубликованный материал? Да | Нет



ПОИСК ПО САЙТУ:


Читайте также:



studopedia.su - Студопедия (2013 - 2017) год. Не является автором материалов, а предоставляет студентам возможность бесплатного обучения и использования! Последнее добавление ip: 54.156.82.247
Генерация страницы за: 0.02 сек.