Двухстадийный процесс (для всего остального)

Одностадийный процесс (для получения p+, n+ области).

Термическая диффузия: распределение примеси в объеме пластины при диффузии из ограниченного и неограниченного источника примеси. Одно – и двухстадийный процесс диффузии. Этапы «загонки» и «разгонки» примеси.

Дано: Хп, No, Nисх.

Требуется: получить переход на заданной глубине (Хп) и с заданными концентрациями (No, Nисх.)

; подставив x=Xп и N=No; 1. Вычислить ;

2. По таблице erf(V)=1 - erf(V) найти ; 3. Из п. 2 найти

4. Задать t^o = 1000 – 1200 ^oC; 5. По графику определить D=f(t^o, No, Nисх);

6. Из п. 3 вычислить время t.

Проведение пробного процесса с полученными параметрами покажет, какие из них нужно корректировать.

Сначала выполняется загонка (обеспечение необходимой дозы легирования), затем – разгонка (обеспечение глубины перехода), но расчёт ведётся в обратном порядке.

; x = 0 -> (1); x = Xп -> (2);

(3);

Разгонка.

1. По (3) найти Dp×tp; 2. Назначить Nоз из условия No<Nоз≤Nпред. Nпред – предел растворимосьти. У бора Nпред = 2×10²⁰ см^-3, у фосфора Nпред =8×10²⁰ см^-3. Его превышение ведёт к деформации кристаллической решётки. 3. По графику определить Dp=f(t^oр, Noз, Nисх). Предварительно задать t^oр = 1000 – 1200 ^oC; 4. Из п.1 вычислить время tр. Как результат имеем t^oр и tр.

Загонка.

1. По формуле (10¹³- 10¹⁵ см^-2); 2. Из формулы найти Dз× tз.

3. Задать t^oз = 800 – 1000 ^oC; 4. По графику определить Dз=f(t^oз, Noз, Nисх). D =10^-12- 10^-15см²/c. 5. Из п.2 определить время загонки tз. Имеем: Nоз, t^oз, tз.

Дата добавления: 2015-04-24