Устройство и работа оже-спектрометра в режиме получения оже-спектра

Для формирования электронного пучка (первичные электроны) в основной камере имеются две электронные пушки. Одна встроена в анализатор, другая монтирована на отдельном фланце. Обе пушки одинаковы. Питание осуществляется от блока питания оже-пушки и стабилизатора тока накала оже-пушки.

Перемещение электронного пучка по поверхности исследуемого образца обеспечивается с помощью ручной регулировки напряжения на отклоняющих пластинах пушки с блока питания оже-пушки или от ТВ-позиционера (для случая быстрой визуализации юстировки образца относительно электронного пучка). Яркость электронно-лучевой трубки ТВ-монитора модулируется сигналом поглощенных образцом электронов. Выносной ТВ-модулятор ТВ-позиционера установлен непосредственно на фланце анализатора.

Дифференцирование вторичных электронов по энергиям обеспечивается формированием развертки отклоняющего потенциала на внешнем цилиндре энергетического анализатора от блока развертки. Модуляция отклоняющего потенциала осуществляется на трансформаторе Т напряжением синусоидальной формы, частотой 10,3 кГц, выделенным в преобразователе напряжения из последовательности прямоугольных импульсов, генерируемых формирователем импульсов.

Выносной предварительный усилитель блока регистрации предназначен для согласования высокоомного источника тока (ВЭУ анализатора) с трактом последующего усиления сигнала. Трансформаторная схема входной цепи обеспечивает вместе с конденсатором контура необходимую полосу пропускания, а также развязку между высокопотенциальными сигнальными цепями (питания ВЭУ) и низковольтным входом микросхемы усилителя.

Регистрируемый сигнал усиливается предварительным усилителем, селективным усилителем с регулируемым коэффициентом усиления, и детектируется синхронным детектором, где в качестве опорного сигнала используется фазорегулируемое напряжение синусоидальной формы. Регулировка фазы в пределах 0 ÷ 360º необходима для компенсации набега фазы регистрируемого сигнала в тракте регистрации. Дискретная регулировка фазы опорного сигнала происходит в формирователе импульсов, с последующим преобразованием последовательности импульсов в напряжение синусоидальной формы в преобразователе напряжения. Плавная регулировка осуществляется на плате синхронного детектора. Продетектированный сигнал поступает на вход усилителя постоянного тока, где происходит выделение и усиление огибающей.

Запись спектра производиться графопостроителем зависимостей Н306. Для оперативной расшифровки спектра в блоках регистрации и развертки предусмотрены выходы для сопряжения с ЭВМ.

Дата добавления: 2015-05-09