Погрешность измерения. Случайная погрешность измерения толщины эпитаксиального слоя методом фурье-спектрометрии определяется теми же факторами

Случайная погрешность измерения толщины эпитаксиального слоя методом фурье-спектрометрии определяется теми же факторами, которые свойственны методу ИК интерференции. Однако интерферометр Майкельсона обладает технической возможностью уменьшить случайную погрешность, возникающую главным образом при измерении полезных сигналов, соизмеримых с уровнем шума. Это имеет место, в частности, при слабом легировании подложки эпитаксиальной структуры, когда коэффициент отражения для границы раздела эпитаксиальный слой — подложка становится низким. За счет многократного сканирования подвижного зеркала может производиться накопление полезного сигнала, в результате чего отношение сигнала к шуму увеличивается в раз, где m — число сканов. В коммерческих зарубежных интерферометрах число сканов за один процесс измерения может достигать 64. Суммирование спектра и вычисление толщины эпитаксиального слоя производятся автоматически с помощью ЭВМ. Это достоинство интерферометра Майкельсона обеспечивает более высокую точность измерения толщины эпитаксиального слоя по сравнению с методом ИК интерференции. Случайная погрешность измерения толщины в интервале 0,75...70 мкм для структур рр +-типа δ =±(0,005 d +0,05) мкм с доверительной вероятностью 0,99, где d — измеряемая толщина, мкм.

Дата добавления: 2015-05-29