Распределение концентрации при локальной ИИ

Распределение примеси в двухслойной мишени

Распределение концентрации примеси в верхнем слое двухслойной мишени определяется дозой имплантации и параметрами, определяемыми материалом слоя и энергией имплантации, R _p1 и D R _p1,

, при x £ h.

Для нахождения распределения концентрации примеси во втором слое двухслойной мишени можно представить, что имплантация ведётся через слой того же материала, что и материал второго слоя, но другой – эквивалентной толщины h * (рис. 3.7). Тогда распределение концентрации примеси во втором слое принимает вид

, при x * ³ h *,

где x * отсчитывается от поверхности эквивалентного слоя, x * = x + D h, а D h = h * – h. Таким образом, для нахождения C ₂(x) нужно определить величину D h,отличающую толщину эквивалентного слоя h * от реальной толщины h. Она может быть найдена из соотношений, полученных в 3.4 для количества примеси Q ₂, пропущенной реальным и эквивиалентным слоями,

откуда получаем искомое для D h выражение,

.

Соответственно, выражение для распределения концентрации примеси во втором слое принимает вид

, при x ³ h.

Аналогичным образом можно найти распределения концентрации имплантированной примеси и в многослойных мишенях. На границах слоёв концентрация претерпевает скачок, обратно пропорциональный отношению страгглингов,

.

При ионной имплантации через окно в маске шириной 2 a (рис. 3.8) распределение концентрации примеси становится двумерным и может быть представлено в виде произведения двух одномерных функций – распределения концентрации примеси в вертикальном (нормальном) направлении C (x) и функции распределения примеси в боковом (латеральном) направлении F (y): C (x, y) = C (x) · F (y), где

,

Здесь D R _{p y} – страгглинг в боковом направлении.

Из рис. 3.8 и последней формулы видно, что при локальной имплантации через окно в маске часть примеси оказывается под краем маски, где она распределяется латерально с характеристической длиной, соответ-ствующей боковому страгглингу D R _{p y} .

Дата добавления: 2017-02-01