![]() КАТЕГОРИИ: Архитектура-(3434)Астрономия-(809)Биология-(7483)Биотехнологии-(1457)Военное дело-(14632)Высокие технологии-(1363)География-(913)Геология-(1438)Государство-(451)Демография-(1065)Дом-(47672)Журналистика и СМИ-(912)Изобретательство-(14524)Иностранные языки-(4268)Информатика-(17799)Искусство-(1338)История-(13644)Компьютеры-(11121)Косметика-(55)Кулинария-(373)Культура-(8427)Лингвистика-(374)Литература-(1642)Маркетинг-(23702)Математика-(16968)Машиностроение-(1700)Медицина-(12668)Менеджмент-(24684)Механика-(15423)Науковедение-(506)Образование-(11852)Охрана труда-(3308)Педагогика-(5571)Полиграфия-(1312)Политика-(7869)Право-(5454)Приборостроение-(1369)Программирование-(2801)Производство-(97182)Промышленность-(8706)Психология-(18388)Религия-(3217)Связь-(10668)Сельское хозяйство-(299)Социология-(6455)Спорт-(42831)Строительство-(4793)Торговля-(5050)Транспорт-(2929)Туризм-(1568)Физика-(3942)Философия-(17015)Финансы-(26596)Химия-(22929)Экология-(12095)Экономика-(9961)Электроника-(8441)Электротехника-(4623)Энергетика-(12629)Юриспруденция-(1492)Ядерная техника-(1748) |
Иллюстрации к лекции 18
1- подложка, 2- нагреватель, 3 - державка, 4- изолятор, 5- испаряемый материал. Схема установки для нанесения покрытий катодным распылением: 1 – камера; 2 – катод; 3 – заземленный экран; 4 – заслонка; 5 – подложка; 6 – заземленный анод; 7 – резистивный нагреватель подложки
Схема магнетронной системы ионного распыления с плоским катодом: 1 – изолятор; 2 – магнитопровод; 3 – система водоохлаждения; 4 – корпус катодного узла; 5 – постоянный магнит; 6 – стенка вакуумной камеры; 7 – силовые линии магнитного поля; 8 – кольцевой водоохлаждаемый анод; 9 – зона эрозии распыляемого катода
Схема включения постоянного отрицательного и импульсного потенциала
Временная зависимость суперпозиции постоянного и импульсного потенциалов
Схема технологической системы синтеза покрытий на базе вакуумно-дугового разряда: 1 – вакуумная камера; 2 – испаряемый материал: 3 – плазменный поток; 4 – источник питания дугового испарителя; 5 – коаксиальный кабель; 6 - конденсатор переменной емкости; 7 – ВЧ генератор; 8 – изделия [41]
Схема установки для нанесения многослойных двухфазных наноструктурных покрытий TiN-СrN. 1 – вакуумная камера; 2 – система автоматического поддержания давления азота; 3 – испаритель хрома; 4 – испаритель титана; 5 – подложкодержатель; 6 – подложка; 7 – источник постоянного напряжения; 8 – генератор импульсов; 9 – программирующее устройство Схема ионно-лучевого распыления: 1 – вакуумная камера; 2 – держатель подложки; 3 – подложка; 4 – поток ионов; 5 – распыляемый материал; 6 – держатель мишени; 7– ионно-лучевой источник; 8 – магнитная система концентрации плазмы тлеющего разряда; 9 – устройство фокусировки ионного луча; 10 – зона концентрации плазмы тлеющего разряда; 11 – поток частиц, осаждающихся на подложку
Установка ионной имплантации: 1 – ионный источник; 2 – блок питания ионного источника; 3 – система подачи газа в объем источника; 4 – система дифференциальной вакуумной откачки; 5 – магнитный анализатор-сепаратор ионного пучка; 6 – апертура, формирующая ионный пучок; 7 – ускорительные секции и блок высоковольтных источников; 8 – электромагнитные линзы; 9 – устройства фильтрации и отклонения пучка; 10 – камера для поглощения атомных и частиц и примесных ионов; 11 – устройство сканирования (пластины, отклоняющие пучок по координатам X и Y); 12 – цилиндр Фарадея для измерений параметров пучка; 13 – приемная камера мишеней; 14 – держатель мишеней с нагревателем; 15 – устройство нагрева и контроля температуры мишеней; 16 – шлюзовое вакуумное устройство с кассетным механизмом перезагрузки приемной камеры; 17 – устройство контроля параметров ионного пучка
Дата добавления: 2014-01-04; Просмотров: 686; Нарушение авторских прав?; Мы поможем в написании вашей работы! Нам важно ваше мнение! Был ли полезен опубликованный материал? Да | Нет |