Студопедия

КАТЕГОРИИ:


Архитектура-(3434)Астрономия-(809)Биология-(7483)Биотехнологии-(1457)Военное дело-(14632)Высокие технологии-(1363)География-(913)Геология-(1438)Государство-(451)Демография-(1065)Дом-(47672)Журналистика и СМИ-(912)Изобретательство-(14524)Иностранные языки-(4268)Информатика-(17799)Искусство-(1338)История-(13644)Компьютеры-(11121)Косметика-(55)Кулинария-(373)Культура-(8427)Лингвистика-(374)Литература-(1642)Маркетинг-(23702)Математика-(16968)Машиностроение-(1700)Медицина-(12668)Менеджмент-(24684)Механика-(15423)Науковедение-(506)Образование-(11852)Охрана труда-(3308)Педагогика-(5571)Полиграфия-(1312)Политика-(7869)Право-(5454)Приборостроение-(1369)Программирование-(2801)Производство-(97182)Промышленность-(8706)Психология-(18388)Религия-(3217)Связь-(10668)Сельское хозяйство-(299)Социология-(6455)Спорт-(42831)Строительство-(4793)Торговля-(5050)Транспорт-(2929)Туризм-(1568)Физика-(3942)Философия-(17015)Финансы-(26596)Химия-(22929)Экология-(12095)Экономика-(9961)Электроника-(8441)Электротехника-(4623)Энергетика-(12629)Юриспруденция-(1492)Ядерная техника-(1748)

Иллюстрации к лекции 18


 

 

1- подложка, 2- нагреватель, 3 - державка, 4- изолятор, 5- испаряемый материал.

Схема установки для нанесения покрытий катодным распылением:

1 – камера; 2 – катод; 3 – заземленный экран; 4 – заслонка; 5 – подложка;

6 – заземленный анод; 7 – резистивный нагреватель подложки

 

Схема магнетронной системы ионного распыления с плоским катодом:

1 – изолятор; 2 – магнитопровод; 3 – система водоохлаждения;

4 – корпус катодного узла; 5 – постоянный магнит; 6 – стенка вакуумной

камеры; 7 – силовые линии магнитного поля; 8 – кольцевой водоохлаждаемый

анод; 9 – зона эрозии распыляемого катода

 

Схема включения постоянного отрицательного

и импульсного потенциала

 

Временная зависимость суперпозиции постоянного

и импульсного потенциалов

 

Схема технологической системы синтеза покрытий на базе вакуумно-дугового разряда: 1 – вакуумная камера; 2 – испаряемый материал:

3 – плазменный поток; 4 – источник питания дугового испарителя; 5 – коаксиальный кабель; 6 - конденсатор переменной емкости;

7 – ВЧ генератор; 8 – изделия [41]

 

Схема установки для нанесения многослойных двухфазных наноструктурных покрытий TiN-СrN. 1 – вакуумная камера; 2 – система

автоматического поддержания давления азота; 3 – испаритель хрома; 4 – испаритель титана; 5 – подложкодержатель; 6 – подложка;

7 – источник постоянного напряжения; 8 – генератор импульсов; 9 – программирующее устройство

Схема ионно-лучевого распыления:

1 – вакуумная камера; 2 – держатель подложки; 3 – подложка; 4 – поток ионов;

5 – распыляемый материал; 6 – держатель мишени; 7– ионно-лучевой источник;

8 – магнитная система концентрации плазмы тлеющего разряда; 9 – устройство

фокусировки ионного луча; 10 – зона концентрации плазмы тлеющего разряда;

11 – поток частиц, осаждающихся на подложку

 

 

Установка ионной имплантации:

1 – ионный источник; 2 – блок питания ионного источника; 3 – система подачи газа в объем источника; 4 – система дифференциальной вакуумной откачки; 5 – магнитный анализатор-сепаратор ионного пучка; 6 – апертура, формирующая ионный пучок; 7 – ускорительные секции и блок высоковольтных источников; 8 – электромагнитные линзы; 9 – устройства фильтрации и отклонения пучка;



10 – камера для поглощения атомных и частиц и примесных ионов; 11 – устройство сканирования (пластины, отклоняющие пучок по координатам X и Y); 12 – цилиндр Фарадея для измерений параметров пучка; 13 – приемная камера мишеней; 14 – держатель мишеней с нагревателем; 15 – устройство нагрева и контроля температуры мишеней; 16 – шлюзовое вакуумное устройство с кассетным механизмом перезагрузки приемной камеры; 17 – устройство контроля параметров ионного пучка

<== предыдущая лекция | следующая лекция ==>
Иллюстрации к лекции №7 | Иллюстрации к лекциям №8-9

Дата добавления: 2014-01-04; Просмотров: 506; Нарушение авторских прав?; Мы поможем в написании вашей работы!


Нам важно ваше мнение! Был ли полезен опубликованный материал? Да | Нет



ПОИСК ПО САЙТУ:


Рекомендуемые страницы:

Читайте также:
studopedia.su - Студопедия (2013 - 2021) год. Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав! Последнее добавление
Генерация страницы за: 0.002 сек.