Ответы на вопросы

Ответы

1. К классу "механических" мы относим сенсоры, в которых первичные информационные сигналы о состоянии исследуемого объекта или процесса имеют механическую природу.

2. Виды механических сенсоров: деформационные сенсоры, сенсоры линейного и углового перемещения, акселерометры, вибрационные и хроматографические сенсоры.

3. Механические сенсоры мы подразделяем на виды с учетом физической природы чувствительных элементов и первичных информационных сигналов, которые в них возникают.

4. Аббревиатура "МСТ" расшифровывается как "микросистемные технологии". Это – технологии группового изготовления микромеханических деталей и устройств вместе с электрическими узлами для их питания, управления и с электронными микросхемами для обработки информации. Для этого используют такие технологические процессы и операции, как фотолитография или ультрафиолетовая, рентгеновская, электронная, ионная литографии; травление (химическое, плазмохимическое, электрохимическое, ионное, анизотропное); отмывание, очистка; напыление (вакуумное термическое, ионное, плазменное, магнетронное); намазывание, наплавление, пульверизация; эпитаксия; гальваническое или химическое осаждение; окисление; легирование (диффузия, ионная имплантация и т.п.).

Аббревиатура "МЕМС" расшифровывается как "микроэлектромехани-ческая система" – сложное изделие, изготовленное с применением МСТ.

5. Микросистемные технологии позволяют формировать механические детали и узлы микронных и даже субмикронных размеров. Это, а также возможность формировать на том же кристалле и необходимые электронные узлы, позволяет обеспечить невиданную ранее компактность, высокие быстродействие и чувствительность, помехоустойчивость, надежность при совсем малом потреблении мощности. Наличие систем автоматизированного проектирования микроэлектромеханических интегральных изделий и целых систем на кристалле позволяет существенно сократить сроки разработки изделий, оптимизировать их конструкцию и технологию изготовления.

6. "Деформационными" называют сенсоры, первичными сигналами в которых являются изменения формы, объема или размеров чувствительного элемента.

7. Можно назвать следующие виды деформационных чувствительных элементов: биметаллические пластины, спирали, мембраны, пружины, сильфоны, трубки Бурдона, стержни и нити с упругими деформациями изгиба и кручения.

8. "Чувствительным элементом" в опытах П.Н. Лебедева по измерению светового давления была тонкая нить из плавленого кварца с подвешенными к ней легкими "крылышками", пропускающими, поглощающими или отражающими свет.

9. В качестве примеров интеллектуальных деформационных сенсоров можно назвать систему непрерывного автоматического контроля давления в шинах большегрузных автомобилей; прецизионные цифровые манометры и калибраторы давления; сенсоры для измерения давления внутри труднодоступных полостей.

10. Актуатор – это техническое устройство, которое активно реагирует на поданный сигнал, например, замыкает или размыкает электрическую цепь, изменяет величину тока, напряжения, яркость свечения, силу давления и т.п.

Дата добавления: 2014-01-04