Легирование методом термической диффузии примесей.
ЛЕКЦИЯ 18
В подавляющем большинстве случаев легирующая примесь вводится в монокристаллический кремний с целью изменения типа проводимости и образования p-n-перехода на определённой глубине. Изменение типа проводимости имеет место в случае, если максимальная концентрация введённой примеси превышает концентрацию исходную (Nисх). Образование p-n-перехода происходит на глубине Хn, где концентрация введённой примеси оказывается равной исходной.
Рис. 6. Принцип образования p-n-перехода.
При термической диффузии (рис. 6) максимальная концентрация примеси всегда на поверхности (N0) и монотонно убывает с глубиной.
Нам важно ваше мнение! Был ли полезен опубликованный материал? Да | Нет
studopedia.su - Студопедия (2013 - 2025) год. Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав!Последнее добавление