Полевые транзисторы на гетеропереходах с селективным легированием (HEMT) (ПТ ГСЛ)
Транзисторы
Для увеличения рабочей частоты и выходной мощности нужен канал с высокой подвижностью электронов и высокой проводимостью. Увеличение проводимости достигается повышением легирования, но это приводит к уменьшению подвижности из-за рассеяния на примесях. Это противоречие преодолевается при селективном легировании. Области под Истоком и Стоком могут быть сильнолегированные.
Если InGaAs – PHEMT (псевдоморфный) Эту структуру ограничивают мощностные характеристики. Причина: малое пробойное напряжение стока из-за высоколегированного слоя GaAs. В мощных HEMT используют нелегированную обратную гетероструктуру. Для увеличения ρ делают полевые транзисторы с несколькими параллельными каналами.
Рис. 3.2.3
Уровень ρ (потенциальный барьер который может преодолеть е) зависит от соотношений элементов AlGaAs. Максимальная энергия будет при х=0.3
studopedia.su - Студопедия (2013 - 2025) год. Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав!Последнее добавление