Источник заряженных частиц (инжектор) - формирует пучок частиц, который характеризуется

· средней начальной энергией,

· током пучка,

· поперечными размерами и средней угловой расходимостью.

Эмиттанс (Э) - произведение радиуса пучка r на его угловую расходимость DW. (мм*мрад) Чем меньше эмиттанс, тем выше качество конечного пучка.

Яркость пучка = j/Э (j –плотность тока)

Электронная пушка

Схема электронной пушки: 1 — катод; 2 — модулятор; 3 — первый анод; 4 — второй анод; е — траектории электронов.

Площадь сечения сформированного пучка в сотни раз меньше площади эмитирующего катода, а плотность тока достигает сотен А/см².

Источники ионов (положительных однозарядных, отрицательных, многозарядных) - плазменные и с поверхностной ионизацией.

В плазменных ионы обра­зуются в газе или паре (около 10% элементов – газы при комнатной температуре) в разряд­ной камере с давлением от 10^-2 до I0^-1 Па. Ионы возникают при ионизации нейтральных атомов или молекул электронами и в процессе ионно-атомных соударений. Извлечение ионов осущест­вляется с помощью системы вытягивающих, а формирование - системой фокусирующих электродов. В плазменных источниках достигнуты токи пучка в десятки А

В источниках с поверхностной ионизацией эммитером ионов служит поверхность накаленного материала, работа выхода которого превышает потенциал ионизации падающих на него атомов. Рекордные плотности потока ионов достигают 0,1 А/см²

Дата добавления: 2014-01-07