Основний внесок в мезолічні макронапруження S дають термічні і структурні к.т.р.
а) Товщина
Напруження не виникають до того часу поки плівка не стає структурно-суцільною (d=10 нм) до 200 мікронапруження різко зростають, а потім стабілізуються.
б) Швидкість конденсації
Збільшення швидкості конденсації – збільшення напружень
Термообробка знижує рівень макронапружень.
Термонапруження термічного походження, величина і знак яких залежить від αn і α
Δεт=(α-αn)ΔТ
St= E/(1-μ)((α-αn) ΔТ
ΔТ = Tn – T
Вимірювання
S=(ED2δ)(3dl)-1
Вимірюють переміщення оптичними приладами з допомогою електромагніту, конденсатору та ін..
Нам важно ваше мнение! Был ли полезен опубликованный материал? Да | Нет
studopedia.su - Студопедия (2013 - 2024) год. Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав!Последнее добавление