Технологии нанопечати

• Маска непосредственно контактирует с модифицируемой поверхностью.

• Рисунок переносится на поверхность с помощью твердого штампа

• Образующая структура задается механическими деформациями.

Недостатки метода: использование высоких давлений приводит к большим напряжениям в маске, она быстро изнашивается

Пути решения: модифицированные методы нанопечати.

Методгорячеготиснения

Для уменьшения давления на штамп используют вязкотекучие резисты (стекла), которые размягчают, нагревая выше Т стеклования. Резист превращается в жидкость, растекающуюся под давлением (рис. 12).

После удаления штампа подложку модифицируют дальше методами химического или ионного травления.

Недостатки метода: длительный нагрев и остывание образца

Использование полимеризации резиста

Несмотря на все преимущества метода горячего тиснения, этот процесс требует длительных времен нагрева и остывания образца. Альтернативным подходом является непосредственная полимеризация жидкого резиста под действием ультрафиолетового излучения при наложении штампа (рис. 13). Очевидно, что в этом случае штамп должен быть прозрачен в ультрафиолетовой области спектра. В качестве материала штампа чаще всего используют обычный оптический кварц, так как необходимое давление на резист составляет всего 0,04 - 1 бар.

Рис. 12. Рис. 13.

Дата добавления: 2014-01-07