Автоматизированный ИК-Фурье-спектрометр

Достоинства метода Фурье-спектроскопии

Высокая чувствительность

Рекордное в сравнении с обычными ИК спектрометрами отношение сигнал/шум позволяет на порядок снизить порог обнаружения контролируемых примесей и повысить точность определения концентрации.

Высокая производительность

Время получения спектра при разрешениях и фотометрической точности, соответствующих требованиям стандартов, не превышает 15...20 с. Это делает возможным сплошной контроль пластин и структур в процессе производства, а также позволяет исследовать неоднородность пластин измеряя распределения контролируемого параметра.

Достоверность анализа

Анализ и идентификация спектров осуществляются автоматически с использованием библиотек стандартных спектров, включаемых в базу данных спектрометра. Снижается вероятность субъективных ошибок оператора.

Бесконтактность измерений

В процессе измерений отсутствуют механические воздействия на поверхность пластины.

Автоматизация измерений

Процесс получения спектров, их обработка и контроль за перемещением пластины полностью автоматизированы. Маршрут перемещения выбирается из стандартных конфигураций (1, 5 и 9 точек) или задается оператором. Результаты измерений автоматически протоколируются и заносятся в базу данных.

Фурье-спектрометр ФСМ 1201П позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.

Основные контролируемые параметры Фурье-спектрометра ФСМ 1201П

· толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n⁺ и p-p⁺ в пределах: (0.5-10) ±0.1 мкм, (10-200) ±1% мкм;

· концентрация междуузельного кислорода (толщина пластин 0.4...2 мм) в пределах: (5*10¹⁵...2*10¹⁸) ± 5*10¹⁵ см³;

· концентрация углерода замещения (толщина пластин 0.4...2 мм) в пределах: (10¹⁶...5*10¹⁷) ± 10*¹⁶ см³;

· концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах: (1...10) ±0.2 вес.%.

· концентрация междуузельного кислорода (толщина пластин 0.4...2 мм) в пределах: (5*10¹⁵...2*10¹⁸) ± 5*10¹⁵ см³;

· концентрация углерода замещения (толщина пластин 0.4...2 мм) в пределах: (10¹⁶...5*10¹⁷) ± 10*¹⁶ см³;

· толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n⁺ и p-p⁺ в пределах: (0.5-10) ±0.1 мкм, (10-200) ±1% мкм;

· концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах: (1...10) ±0.2 вес.%.

Дата добавления: 2014-01-07