Профилометры alpha-step фирмы kla-tencor, США

Стилусный профилометр Alpha-Step ® D-120

Стилусный профилометр Alpha-Step ® D-120 предоставляет широкий спектр применений для научно-исследовательской деятельности благодаря своим выдающимся характеристикам: диапазон перемещения по вертикали составляет 1.2 мм, суб-ангстремное разрешение сканирования, повторяемость в измерении высоты в 6 ангстрем (или 0,1 % от номинальной высоты), предметный столик радиусом 200 мм с двухкоординатным сервоприводом, а так же многое другое.

Благодаря сервоприводам предметного столика профилометр Alpha-Step ® D-120 позволяет проводить автоматические измерения в различных координатах образца. В качестве дополнительного оборудования для Alpha-Step ® D-120 предлагается камера с зум-объективом и 4-х кратным увеличением для абсолютно точной визуализации образца. Профилометр Alpha-Step ® D-120 является чрезвычайно полезным, как для исследовательских, так и для производственных применений, сочетая в себе выдающиеся характеристики и разумную цену.

Графический интерфейс Alpha-Step ® D-120 является мультидокументным и позволяет отображать данные сканирования одновременно с процессом сканирования, что дает возможность пользователю анализировать данные и одновременно выполнять дополнительные измерения.

Програмное обеспечение Alpha-Step ® D-120 позволяет автоматически расставлять уровни на полученных изображениях, измерять параметры изображений и выводить полученные результаты в удобном виде таблицы пригодной для использования в MS Excel. В интерфейсе Alpha-Step ® D-120 все окна являются независимыми, это означает что и панели управления, и окна вывода данных, и окна сканирования в реальном времени, а так же окна с итоговыми результатами сканирования могут быть размещены в любом месте экрана. Эта особенность делает интерфейс Alpha-Step ® D-120 гибким и мощным инструментом для получения и анализа данных.

Технические характеристики Alpha-Step D-120:

§ Длина получаемого изображения 55 мм;

§ Диапазон перемещения по вертикали до 1,2 мм;

§ Предметный столик радиусом 200 мм с сервоприводами для установки образца (диапазон перемещений 150Х178 мм;

§ Контролируемое усилие воздействия в диапазоне 0,03 мг – 10 мг;

§ Программное обеспечение совместимо с ОС WindowsXP, Vista, и Windows 7.

Стилусные профилометры Alpha-Step D-series – разработка компании KLA-Tencor - обеспечивают комплексное решение задач инженерного и исследовательского профиля. Серия профилометров D-series разработана с целью удовлетворить разнообразные запросы клиентов посредством выпуска приборов с широким спектром возможностей, интеграцией в них инновационных технологий и повышенной производительностью. Ниже приводится сравнительная характеристика приборов Alpha-Step D-series.

Основными областями применения для Alpha-Step D-series являются:

§ Исследования текстуры поверхности;

• Напряжение тонких пленок;
• Исследование биологических объектов;
• Микроэлектромеханические системы;
• Характеристика свойств материалов;
• Прецизионное измерение вертикальных ступенек на поверхности;
• Исследование шероховатости и дефектности поверхности.

Эти профилометры широко используются в технологии кремниевых БИС и СБИС для контроля профилей поверхности участков кристаллов микросхем на рабочих пластинах с целью отработки технологических процессов и анализа причин брака.

Профилометр ALPHA-STEP 200

Позволяет измерять профиль поверхности с разрешением по вертикали до 0.5 нм. Применяется для контроля рельефа поверхности и измерения толщины пленок.

Использовался в том числе при измерении профилей удельного сопротивления методом сопротивления растекания для определения глубины.

Описание установки:

Прибор предназначен для измерения профиля «плоской» поверхности посредством механического сканирования иглы-зонда.

Область применения:

· определение толщины различных пленок при напылении на плоскую поверхность;

· определение качества поверхности и толщины фоторезиста при проведении фотолитографии;

· определение качества формирования топологии различными видами травления (жидкостное, ионное др.);

· измерение шероховатости поверхности;

· определение скорости ионного распыления в исследованиях профиля методами ВИМС и Оже-спектроскопии по измерениям кратеров травления.

Профилометр ALPHA-STEP 500

Профилометр предназначен для измерения профиля «плоской» поверхности посредством механического сканирования индентора.

Области применения:

- определение толщины различных пленок при напылении на плоскую поверхность;

- определение качества поверхности и толщины фоторезиста при проведении фотолитографии;

- определение качества формирования топологии различными видами травления (жидкостное, ионное и т.д.);

- измерение шероховатости поверхности;

- определение скорости ионного распыления в исследованиях профилей примеси методами ВИМС и Оже-спектроскопии по измерениям кратеров травления.

Технические характеристики:

- динамический диапазон измерений по глубине составляет 0.5 нм ÷ 320 мкм;

- максимальная длина линии сканирования по поверхности составляет 10 мм;

- максимальное количество точек на один скан - 2000;

- два диапазона измерений:

- ±16 мкм (разрешение по глубине 0.5 нм),

- ±160 мкм (разрешение по глубине 5 нм);

- сменные иглы радиусов: 1.5 ÷ 2.5 мкм, 5 мкм, 12.5 мкм и 25 мкм;

- нагрузка на иглу изменяется от 1 до 25 мГ;

- максимальный диаметр пластин - 150 мм.

Дата добавления: 2014-01-07