Пленочные проводники и контактные площадки

Катушки индуктивности

Как уже отмечалось, возможность осущест­влять катушки индуктив- ности методами микроэлектроники является одним из достоинств пленочной технологии. Такие катушки представляют собой плоские спирали, обычно прямоугольной конфи­гурации (рисунок 5.4). Для уменьшения сопротивления в качестве материала ис­пользуется золото. Ширина металличе­ской полоски составляет 30-50 мкм, просвет между витками 50-100 мкм. При таких.

геометрических размерах удельная индуктивность лежит в диапазоне 10-20 нГн/мм², т. е. на площади 25 мм² можно получить индуктивность 250-500 нГн.

Добротность катушек индуктивности, например, на час­тоте 100 МГц может иметь значение Q ³ 50. В от­личие от добротности конденсатора добротность ка­тушки возрастает с увеличением частоты. Поэтому пленоч­ные катушки могут успешно работать в диапазоне

Рисунок 5.4 сверхвысоких частот

(СВЧ), при частотах 3-5 ГГц. При этом число витков состав­ляет 3-5.

В связи с разработкой микроминиатюрных проволочных кату­шек применение пленочных катушек, особенно на частотах менее 50 - 100МГц ограничивается и предпочтение, как и в случае кон­денсаторов, отдается навесным компонентам.

Для электрического соединения различных элементов микросхем на одной подложке применяют пленочные проводники. Для этой цели требуются материалы с высокой проводимостью и хорошей адгезией к подложке. Контактные площадки служат для подсоединения навесных компонентов схемы и внешних выводов с помощью пайки или сварки.

Для напыления проводников в основном применяют золото, медь или алюминий толщиной 0,6-0,8 мкм. Для улучшения адгезии проводящих пленок напыляют тонкий подслой хрома или нихрома толщиной 0,01-0,03 мкм. Для защиты поверхности проводящих пленок от окисления применяют покрытие из никеля или золота толщиной 0,05-0,1 мкм.

Дата добавления: 2015-05-06