Вопрос 33. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС-XPS). Физические основы метода

Применение.

32.

Одним из преимуществ оже-электронной спектроскопии является её чувствительность к примесям с малой массой атом, таким как углерод или кислород, которые обычно загрязняют поверхность и границы раздела, что играет разрушающую роль в реакциях в тонких пленках, замедляя взаимнуюдиффузию.

Оже-спектроскопия с послойным распылением применяется при анализе многослойных пленок. Она способна давать полуколичественный профиль распределения в многослойной пленки элементов, соседствующих впериодической таблице.

При облучении поверхности вещества фотонами могут протекать различные процессы, в том числе образование фотоэлектронов, рассеяние фотонов, фотодесорбция атомов и молекул с поверхности (рис. 1.1).

Рис.1.1. Процессы на поверхности при облучении ее фотонами

Суть метода РФС состоит в получении фотоэлектронных спектров, т.е.измерении кинетической энергии внутреннего или валентного электрона, выбитого квантом известной энергии электромагнитного излучения.

Физические принципы метода основаны на явлении фотоэффекта. В спектрометре монохроматический пучок рентгеновских лучей с энергией фотонов падает на исследуемое вещество, атомы которого поглощают фотоны. Связанный электрон переходит в свободное состояние и вылетает за пределы образца с энергией, которая в идеальном случае должна удовлетворять уравнению (1.1).

(1.1)

Однако на практике при работе с твердыми образцами необходимо еще учитывать работу выхода спектрометра, поэтому уравнение (1.2) примет вид

(1.2)

Электроны возбуждаются со всех уровней атома, на которых . Зная величину и , которую измеряют с помощью электронного спектрометра, можно определить энергию связи электрона на том или ином уровне атома. Для каждого элемента периодической системы Менделеева характерно свое строение атома, поэтому по спектрам фотоэлектронов можно провести соответствующую классификацию. Энергетическая диаграмма РФС при выбивании электрона с К-оболочки атома представлена на рис. 1.2.

Рис. 1.2. Энергетическая диаграмма РФС Рис. 1.3. Зависимость средней длины свободного пробега электронов от их кинетической энергии

Глубина выхода выбитых электронов из образца определяется длиной свободного пробега электрона относительно неупругих столкновений и составляет – 1 - 10 нм (рис. 1.3). Источником излучения в спектрометре является рентгеновская трубка, которая генерирует рентгеновское излучение, состоящее из тормозного и характеризующего излучений (рис. 1.4). Идеальный рентгеновский источник для РФС должен давать монохроматическое излучение с энергией, достаточной для ионизации внутренних электронов всех химических элементов периодической системы. Монохроматичность необходима, поскольку ширина линии рентгеновского излучения, падающего на образец, влияет на ширину фотоэлектронной линии, от которой зависит разрешающая способность спектрометра.

Рис. 1.4 Спектральное распределение интенсивности излучения рентгеновской трубки (алюминиевый или магниевый анод при 10 кВ)

Вопрос 34. Источники фотонов. Требования к энергетическому разрешению. Энергоанализаторы электронов.

В РФС обычно применяют - рентгеновское излучение Al или Mg. Оно дает самые узкие линии. В табл. 1.1 приведены данные по некоторым источникам, используемым в РФС. Для поглощения тормозного излучения рентгеновские лучи направляют на образец через алюминиевый или магниевый экран. Применяют также монохромацию излучения. Дополнительнаямонохромация излучения позволяет уменьшить полуширину линии до 0,2 эВ.

Таблица 1.1

Рентгеновские источники РФС

Рентгеновские лучи	Энергия, эВ	Ширина линии, эВ
		2,5
		1,4
		0,9
		0,8

Исследуемые образцы могут находиться в твердом или жидком состоянии (жидкость требует особой методики измерений). Образец должен быть установлен достаточно близко к оптической системе анализатора, чтобы испущенные электроны попадали в анализатор с большой эффективностью. Вещество образцов не должно разлагаться в вакууме и под действием рентгеновского излучения. При исследовании адсорбированных процессов требования по вакууму достаточно высокие, до 10-8 Па.

Для выделения и фокусировки фотоэлектронов определенной энергии используются магнитные или электростатические энергоанализаторы. С целью уменьшения рассеяния электронов на молекулах остаточных газов в анализаторе требуется поддерживать вакуум не хуже 10-3 Па. Необходима также компенсация рассеянных магнитных полей применяют катушки Гельмгольца или магнитные экраны.

Энергоанализаторы подразделяются на два типа: с задерживающим потенциалом (с тормозящей сеткой) и дисперсионные. В спектрометре с тормозящей сеткой анализ кинетической энергии электрона проводится методом задерживающего потенциала, согласно которому электроны до их регистрации проходят через тормозящее поле. В случае дисперсионных анализаторов электроны могут быть диспергированы или сепарированы по энергиям в магнитном или электростатическом поле. Большинство современных спектрометров являются дисперсионными приборами с электростатическим полем. В них используются анализаторы различной геометрии: отклоняющий сферический секторный конденсатор, отклоняющее цилиндрическое зеркало и бездисперсионный энергетический фильтр. Схематическое изображение анализаторов первых двух типов представлены на рис. 1.5 и 1.6.

Рис. 1.5. Схема секторного сферического анализатора

С помощью ЭСХА (РФС) по спектру фотоэлектронов можно проводить качественный и количественный анализ состава поверхности. Спектр фотоэлектронов представляет собой зависимость числа фотоэлектронов, попадающих в детектор, от величины их кинетической энергии. По кинетической энергии, учитывая поправку на работу выхода спектрометра, находят энергию связи. Окончательный анализ химического состава образца проводится по спектру интенсивности фотоэлектронов от энергии связи. На рис. 6. 5 в качестве примера представлен спектр золотой фольги, на которой адсорбировано некоторое количество ртути. С помощью ЭСХА – спектрометра можно определить менее, чем 0,1 % монослояHg на поверхности Au.

Дата добавления: 2015-04-24