Метод Чохральского

Плотности дислокаций для данного метода:

Рис. 3. Метод Чохральского (размеры рисунка 200мкм*200мкм)

Таблица№3.

N
	5,75	4,00
	4,25	4,00
	5,75	4,00

В данном случае плотность равна ρ =(5,25±0,71)·10⁴ см^-2.

Также нужно определить угол разориентации.

Для определения угла разориентации использовалась следующая фотография

Характерный параметр решетки кремния: = 5,4 Å,

.

Таким образом, угол разориентации между блоками приближенно равен 0,01°.

Выводы

В ходе данной работы была вычислена плотность дислокаций кремния, полученного различными методами избирательного травления:

1. Бестигельная зонная плавка и перетяжка.

ρ =(10,00±0,98)·10⁴ см^-2.

2. Бестигельная зонная плавка.

ρ =(13,16±0,83)·10⁴ см^-2.

3. Метод Чохральского.

ρ =(5,25±0,71)·10⁴ см^-2.

Очевидно, что минимальные дефекты наблюдаются для кремния, полученного методом Чохральского, в то время как наибольшее число дефектов образуется при бестигельной зонной плавке. Дефекты распределены в кристалле неравномерно, с достаточно большим разбросом очагов с повышенной плотностью дислокаций.

Литература:

1. Павлов П.В., Хохлов А.Ф. Физика твёрдого тела, изд-во Нижегородского ун-та, 1993, 491 с.

2. Ч.Киттель Введение в физику твёрдого тела 2006.-792с.

3. Описание лабораторной работы.

Дата добавления: 2015-07-02