Изготовление промежуточного негатива

Вычерчивание оригинала ИМС

Общие сведения

При изготовлении ИМС используют комплект фотошаблонов с необходимыми рисунками. С помощью этих фотошаблонов получают скрытые n+ слои, изолирующие области, формируют базы, эмиттеры и коллекторы транзисторов, резисторы, диоды, контактные площадки, внутренние соединения и т.д.

Размеры рисунков на фотошаблонах очень малы (мкм, нм), поэтому для изготовления фотошаблонов используется высокоточная прецизионная аппаратура, снабженная оптикой с очень высокой разрешающей способностью.

Процесс изготовления фотошаблонов состоит из следующих основных операций:

1. вычерчивание оригиналов;

2. первое уменьшение (изготовление промежуточного негатива);

3. второе уменьшение и получение многократно повторяющихся рисунков (мультипликация);

4. изготовление рабочих копий фотошаблонов с эталонного комплекта.

Оригинал представляет собой очень сильно увеличенное изображение фотошаблона. Чем больше масштаб увеличения, тем точнее получится окончательное изображение. Для вычерчивания оригинала используется устройство координатограф. Он даёт возможность получить рисунки с точностью до 10 мкм. Оригинал вычерчивается (вырезается резцом) в специальном слое непрозрачной эмали, нанесённой на стекло. При этом эмаль имеет малую усадку, поэтому размеры рисунков не изменяются.

После этого эмаль отслаивают от стекла и получают рисунок оригинала. Оригинал состоит из прозрачных и непрозрачных участков. Как правило, оригинал имеет прямоугольную форму с размерами 1200х1200 мм. При изготовлении оригинала, используют масштабы увеличения изображения в 500раз и более.

При изготовлении промежуточного негатива изображение оригинала уменьшают в 50 раз и более. Все оригиналы комплекта фотошаблонов одной ИМС должны быть уменьшены строго с одинаковым масштабом, в противном случае получится брак. В отличие от оригинала, который имеет непрозрачное поле с прозрачным рисунком, промежуточный негатив - наоборот имеет прозрачное поле с непрозрачным рисунком.

Рис.: Оригинал и промежуточный негатив.

Кроме того, промежуточный негатив имеет зеркальное отражение оригинала. Уменьшение оригинала проводится на специальных прецизионных фотокамерах. Оптическая система такой камеры смонтирована на массивной стене, которая исключает вибрацию. Светочувствительный слой фотопластины должен обладать огромной разрешающей способностью. При таком фотографировании, оригинал просвечивается лампами, установленными за этим оригиналом.

Дата добавления: 2014-01-07