Мультипликация

Кремниевая подложка обычно значительно больше, чем сформированная на ней ИМС, и чтобы использовать всю рабочую поверхность кремниевой пластины, необходимо иметь фотошаблон с многократно повторяющимся рисунком ИМС. Например: если размер кристалла одной ИМС 1,5х1,5мм, то на пластине кремния диаметром 40мм, можно расположить до 800 таких ИМС.

Мультипликация - это второе уменьшение, при котором получают многократно повторяющееся изображение однотипной структуры ИМС. Мультипликация выполняется на специальном устройстве - фотоштампе - это сочетание оптической системы (она уменьшает изображение в десять раз и более) и механического устройства для перемещения кассеты с фотопластиной на определённый шаг.

После мультипликации получается изображение, соответствующее оригиналу, только уменьшенное в большое количество раз (негатив снимают с негатива).

Рис. Процесс мультипликации.

Комплект фотошаблонов считается частью технологической оснастки производства ИМС. При повреждении хотя бы одного фотошаблона приходится менять весь комплект, так как может произойти брак.

Эмульсионный слой фотошаблона очень быстро изнашивается, так как при совмещении фотошаблон накладывается на кремниевую пластину именно этим эмульсионным слоем и плотно прижимается. Обычно фотошаблоны выдерживают до 50 таких совмещений. Поэтому в массовом производстве используют хромированные фотошаблоны, долговечность которых в десятки раз больше, но и стоят они дороже.

Тема 2.4: Сборка ИМС.

1. Основные требования к монтажу и его виды.

1. Напайка кристалла, приклеивание.
2. Термокомпрессия.
3. Сварка выводов.

Дата добавления: 2014-01-07