Быстродействующий лазерный эллипсометр ЛЭФ -757

Некоторые современные модели эллипсометров

Многоугловой быстродействующий лазерный эллипсометр предназначен для прецизионных измерений толщин тонких пленок, оптических параметров тонкопленочных структур и объемных материалов. Измерение параметров производится посредством анализа состояния поляризации отраженного от поверхности образца поляризованного монохроматического пучка света с последующим математическим расчетом физических параметров.

Эллипсометр создан на основе быстродействующей двухканальной статической схемы, в которой оптические параметры вычисляются по четырем электрическим сигналам одновременно считываемым с четырех фотоприемников. Время измерения ограничено только быстродействием приемно-усилительного тракта и оцифровкой сигналов.

Высокая точность благодаря стабильному лазерному источнику света, термостабильному компенсатору и низкошумящим фотоприемникам.

Предельно высокая скорость измерений, даваемая статической схемой измерений.

Удобное изменение выбранного для условий измерений угла падения.

Поддержкой многоугловых измерений для сложных, многослойных структур и толстых пленок.

Спектральный эллипсометр "Эллипс-1891"

Спектральный эллипсометр предназначен для прецизионных измерений толщин тонких пленок, оптических параметров тонкопленочных структур и спектральных зависимостей оптических констант поверхностей различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков и др.), в том числе анизотропных и жидких. В основу комплекса положена быстродействующая статическая схема эллипсометрических измерений. Алгоритмы считывания сигналов и расчета рабочих параметров обеспечивают очень высокую чувствительность, необходимую для проведения измерений с высоким спектральным разрешением. Использование новой измерительной схемы обеспечивает быстрое сканирование всего спектра или отдельных участков спектра с повышенным спектральным разрешением.

Технические характеристики Спектрального эллипсометра "Эллипс-1891"

Источник света	Галогенная лампа (опция- ксеноновая лампа высокого давления)
Спектральный диапазон, нм	350 - 1000 нм (опция 250 – 1000 нм)
Время измерения:
на одной длине волны	1 мс
полный спектр	8-20 сек.
Диаметр светового пучка	3 мм
Диапазон углов падения света, фиксированно	45, 50, 55, 60, 65, 70 град., 90 град.
Размеры	850 х 400 х 300 мм
Масса	55 кг.

Дата добавления: 2014-01-07