Выбор длины участка измерения

Ra, мкм	Базовая длина l, мкм	Длина участка измерения L, мм, не менее
От 0,006 до 0,02	0,08	0,4
" 0,02 " 0,32	0,25	1,6
" 0,32 " 2,5	0,8	4,0
" 2,5 " 10,0	2,5	10,0
" 10,0 " 80,0	8,0	32,0

При измерении по профилограмме параметра R_a дискретным способом в тех случаях, когда другими сос­тавляющими погрешности измерения по сравнению с погрешностью от ограниченности длины измерения мож­но пренебречь, длину участка измерения выбирают в зависимости от заданной допустимой относительной по­грешности следующим образом.

Используя значение Х₁ (п. 1.4), по табл. 5 определяют коэффициент A₀.

22. Выбор значений коэффициента А₀

^А0	0,0067	0,0069	0,0074	0,0078	0,0067	0,0069	0,0071
^1	0,1	0,3	0,6	0,85	1,2	1,6	1,8

Для заданной допустимой относительной погрешности измерения е, доверительной вероятности в и най­денных, значений величий Хк (п. 1.4) и А₀ определяют необходимую длину участка измерения на поверхности по формуле

где tp - квантиль порядка в, определяемый по табл. 6.

23.

Значения кванители tp

^в	0,680	0,870	0,950	0,988	0,997
Ч	1,0	1,5	2,0	2,5	3,0

Число базовых длин q определяют по формуле

Если q - не целое число, то его округляют до ближайшего большего целого.

Длина участка измерения на профилограмме определяется по формуле

^Ln = ^LU.

6. ОПРЕДЕЛЕНИЕ ЗНАЧЕНИЙ ПАРАМЕТРОВ R_z, R_max, S ПРИ ПОМОЩИ МИКРОИНТЕРФЕРОМЕТРОВ И РАСТРОВЫХ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ МИКРОСКОПОВ С ВИЗУАЛЬНЫМИ ОКУЛЯРАМИ ВИНТОВЫМИ МИКРОМЕТРАМИ

При измерении параметров R_z, R_max, S в поле изображения прибора одна из нитей перекрестия должна быть установлена параллельно направлению полос (интерференционных, муаровых), другая - параллельно направ­лению неровностей. Параметры шероховатости определяются в пределах базовой длины.

6. Для нахождения значения параметра R_z при измерении растровым микроскопом и микроинтерферо­метрами МИИ-4, МИИ-5, МИИ-10 (с преобладанием интерференции равного наклона) измеряют ординаты пя­ти наибольших максимумов профиля h_imax и пяти наибольших минимумов h,_mm в делениях барабана микромет­ра.

Измеряют ширину полосы (интерференционной, муаровой) е в делениях барабана микрометра.

Значение параметра R_z находят по формуле

где с₁ - цена интерференционной, муаровой полосы прибора, мкм.

6. При измерении микроинтерферометрами МИИ-9, МИИ-12 (с преобладанием интерференции в клине) значение параметра R_z находят по формуле

- цена интерференционной полосы; X - длина волны источника света, мкм; U₀ - апертурный

угол; sin U₀ - апертура освещающего пучка.

6. Для нахождения значения параметра R_max при измерении растровым микроскопом и микроинтерферометром МИИ-4, МИИ-5, МИИ-10 измеряют ординаты наивысшей точки профиля h_max и наинизшей точки профиля hmin в делениях барабана микрометра.

Измеряют ширину полосы (интерференционной, муаровой) е в делениях барабана.

Значении параметра Rmax находят по формуле

6.

Значение параметра R_max при измерении микроинтерферометрами МИИ-9, МИИ-12 находят по фор­муле

6. Значение параметра S при измерении растровым микроскопом и любым микроинтерферометром нахо­дят следующими способами:

а) нить перекрестия последовательно совмещают с соседними максимумами профиля.

Измеряют абсциссы максимумов профиля S. в делениях барабана микрометра.

Значение параметра S находят по формуле

где п - число шагов неровностей профиля по вершинам;

измерении абсцисс, мм; Г_об - увеличение объектива прибора; б) значение параметра S находят в соответствии с п. 5.5.6.

7. ОПРЕДЕЛЕНИЕ ЗНАЧЕНИЙ ПАРАМЕТРА R_z, R_max, S ПРИ ПОМОЩИ ПРИБОРОВ СВЕТОВОГО

Дата добавления: 2015-04-25