![]() КАТЕГОРИИ: Архитектура-(3434)Астрономия-(809)Биология-(7483)Биотехнологии-(1457)Военное дело-(14632)Высокие технологии-(1363)География-(913)Геология-(1438)Государство-(451)Демография-(1065)Дом-(47672)Журналистика и СМИ-(912)Изобретательство-(14524)Иностранные языки-(4268)Информатика-(17799)Искусство-(1338)История-(13644)Компьютеры-(11121)Косметика-(55)Кулинария-(373)Культура-(8427)Лингвистика-(374)Литература-(1642)Маркетинг-(23702)Математика-(16968)Машиностроение-(1700)Медицина-(12668)Менеджмент-(24684)Механика-(15423)Науковедение-(506)Образование-(11852)Охрана труда-(3308)Педагогика-(5571)Полиграфия-(1312)Политика-(7869)Право-(5454)Приборостроение-(1369)Программирование-(2801)Производство-(97182)Промышленность-(8706)Психология-(18388)Религия-(3217)Связь-(10668)Сельское хозяйство-(299)Социология-(6455)Спорт-(42831)Строительство-(4793)Торговля-(5050)Транспорт-(2929)Туризм-(1568)Физика-(3942)Философия-(17015)Финансы-(26596)Химия-(22929)Экология-(12095)Экономика-(9961)Электроника-(8441)Электротехника-(4623)Энергетика-(12629)Юриспруденция-(1492)Ядерная техника-(1748) |
Метод ван-дер-пау
Чтобы получить аналитическое выражение, связывающее удельное сопротивление образца с измеряемыми величинами, рассмотрим случай пластины в виде полуплоскости. Пусть на боковой поверхности пластины находятся контакты 1—4. Через контакты 1 и 4 протекает ток Метод позволяет измерять удельное сопротивление тонких пластин и слоев с высокой точностью. Погрешность измерений, однако, быстро возрастает, если контакт занимает на боковой поверхности некоторую протяженную область или расположен не только на боковой поверхности, но частично и на поверхности пластины. Для уменьшения этой погрешности используют образцы специальной геометрической формы. Их можно разделить на две группы. К одной группе (рис. 7, а, б) относятся образцы в форме клеверного листа, т. е. имеющие такую геометрическую форму, при которой протяженность границы вытянута настолько, что контакты конечных размеров вносят пренебрежимо малую погрешность в результаты измерений. Другую группу составляют симметричные образцы правильной геометрической формы с протяженными контактами (рис. 7, в–е), для которых влияние контактов на результаты измерений рассчитано Схема измерения с помощью этого метода не отличается от схемы измерения четырехзондовым методом (см. рис. 2). На основе рассмотренного метода разработаны автоматические устройства для разбраковки пластин на группы по значению удельного сопротивления. Образцы типа представленных на рис. 7, е используют для контроля микронеоднородностей поверхностного сопротивления диффузионных и ионно-легированных слоев, а также в качестве тестовых структур для контроля ухода размеров и совмещения рисунков при фотолитографии.
Дата добавления: 2015-04-24; Просмотров: 2776; Нарушение авторских прав?; Мы поможем в написании вашей работы! Нам важно ваше мнение! Был ли полезен опубликованный материал? Да | Нет |