Полирование подложки

При механической обработке поверхности подложки в качестве промежуточных стадий полировки можно использовать абразивные порошки из алмаза или окиси алюминия.

Для получения поверхности с малой глубиной нарушенного слоя применяют химико-механическое полирование. Оно ведется твердыми сферическими частицами диоксида кремния коллоидного диапазона зернистости 0.04-0,15 мкм (аэросила) в составе щелочной суспензии (вода 1000 мл, аэросил 90 г, глицерин 50 мл, этилендиамин 80 мл, перекись водорода 40 мл). Можно также применять полирование с помощью суспензии из Si0₂ сразу после шлифов­ания, минуя промежуточные стадии полирования, однако при этом на­много увеличивается время обработки, необходимое для снятия нарушенного поверхностного слоя.

После шлифования успех финишной обработки зависит от сочетания скорости полирования, давления па подложку и скорости подачи суспензии. Обычно полирование производят при частоте вращения полировального круга 50—100 об/мин и удельном давлении (0,1—0,3) • 10⁵ Н/м².

Из-за сравнительно невысокой твердости ГГГ внешние загрязнения следует сводить к минимуму путем созда­ния гермозоны в месте обработки подложек. Дополнительные слож­ности также возникают из-за того, что коллоидные частицы Si0₂ образуют агломераты, продолжающие нарушать поверхность под­ложки. Это происходит, если используют слишком большие давления и скорости полирования в сочетании с неравномерным распределением потока жидкости по площади образца, что приводит к локальному возрастанию температуры и испарению жидкой связки. При пра­вильно подобранных давлениях и скоростях полирования и скорости подачи суспензии примерно 1 капля в секунду можно получить вы­сокое качество поверхности.

Полирование

Производить на станке 3ШП-350

Инструмент: плоскошлифовальный круг

1. Зазоры между деталями очистить от смолы

2. Подрезать равномерно полировальник по всей поверхности, подогреть в горячей воде и смазать полирующей суспензией

3. Установить на шпинделе станка обрабатывающий инструмент и осуществить ручную прополировку блока с деталями используя в качестве суспензии аэросил.

4. Полировать блок в течение 10 минут. Частота вращения 80 об/мин.

5. По окончании полирования снять блок со станка, промыть мягкой губкой в теплой воде

6. Произвести контроль класса чистоты. Инструмент: лупа 6х, микрометр

Лакирование плоской поверхности

Защитное покрытие эмалью отполированной поверхности во избежание получений повреждений во время закрепления детали, центрировки и транспортировки ее в помещениях цеха.

Используется: эмаль НЦ-25, кисть беличья, салфетка фланелевая, работы проводить под вытяжкой.

Разблокирование осуществлять охлаждением при температуре от -30 до -50^оС.

Промывка водой

Повторить пункты шлифования, полирования и лакирования для другой стороны пластины.

Контроль подложек.

Контролируют качество поверхности (дефекты поверхности и при необходимости глубину нарушенного слоя) и отклонения геометрической формы (разнотолщинность, клиновидность, неплоскостность и прогиб).

Состояние шлифованной и полированной поверхностей пластин, наличие ямок, светящихся точек, сколов, пятен, рисок и трещин контролируют визуально невооруженным глазом или под микроскопом. При помощи стереоскопического микроскопа МБС-1 и металлографического микроскопа МИС-11 проверяют наличие на поверхности дефектов и следов загрязнения при максимальных увеличениях – 88^x (МБС-1) и 1440^x (МИС-11).

После любой абразивной обработки возникает нарушенный слой за счет ударного воздействия зерен на обрабатываемую поверхность.

Глубину нарушенного слоя определяют несколькими методами: рентгеновским, электронографическим, травлением и др.

Толщину пластин измеряют либо установленным на стойке индикатором часового типа с ценой деления 1 мкм, либо оптическим длинномером ИКВ-3 (± 0,5 мкм).

Индикатор и длинномер ИКВ-3 используют также для определения клиновидности пластин, которая будет равна наибольшей разности значений толщин пластины в диаметрально противоположных точках.

Для измерения неплоскостности окончательно обработанных пластин, закрепленных на вакуумном столике, используют интерферометры с лазерным источником излучения.

Прогиб пластин контролируется бесконтактным емкостным или интерференционными методами.

Дата добавления: 2017-01-14