Введение. по дисциплине «Процессы порошковой металлургии»

Самара 2015

КУРСОВАЯ РАБОТА

по дисциплине «Процессы порошковой металлургии»

Тема: «Силициды: свойства, методы, области применения и перспективы силицидов»

Выполнил: 3-ЗФ-34 Гарифуллин Э.Р.

Проверил: Титова Ю.В.

Содержание

Введение. 3

Свойства силицидов. 5

Методы получения силицидов. 9

Область применения силицидов……...………………………............………….…10

Перспективные силициды для электроники.. 21

Список используемой литературы.. 22

Силициды металлов представляющие собой проводящие, либо полупроводниковые соединения, являются широко используемым материалом для решения многих задач микроэлектроники и фотоэлектроники. Эти задачи включают формирование проводящих и контактных слоев, в том числе при решении задач многослойной металлизации при создании больших и сверхбольших интегральных схем, а в последнее время для создания элементов наноэлектроники, в частности квантовых точек и квантовых проволок.

Силициды переходных металлов используются в полупроводниковой индустрии в качестве электродов затвора или соединителей, что обусловлено низким электросопротивлением и высокой температурной плавления и химической устойчивостью их свойств. Некоторые силициды, которые могут быть получены при довольно низких температурах, обеспечивают низкоомные контакты, тогда как другие применяются в технологии изготовления диффузионных барьеров. Высокая устойчивость этих материалов к царапанью используется в кремниевых интегральных схемах. Силициды ПМ обладают достаточно хорошей технологичностью в плане получения и обработки. А так как силициды также имеют хорошее сопряжение с большинством материалов, активно применяющихся в микро- и наноэлектронике (особенно кремнием, алюминием, оксидами и пр.), они стали незаменимы в современных технологиях. Увеличение мощности за счет уменьшение линейных размеров изделий в микро- и нанотехнологиях приводит к огромным плотностям тока (до 10⁵ A/cm²). Вследствие разогрева в изделиях микроэлектроники образуются дефекты, оказывающие существенное влияние на их свойства. Кроме того, большинство переходных металлов, применяемых в микроэлектронике, могут вступать в реакцию с кремнием при достаточно низкой температуре с образованием тонких силицидных фаз. Присутствие таких соединений на интерфейсе оказывает существенное влияние на свойства изделий микроэлектроники, что вызывает необходимость тщательного исследования самых разнообразных свойств силицидов как экспериментально, так и теоретически.

Дата добавления: 2015-08-31