Александров О. В.

ИЗГОТОВЛЕНИЯ СБИС

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

Генеральная лицензия Банка России № 354

Филиал «Газпромбанк» (Акционерное общество) в г. Новосибирске

Библиографический список

1. Правила перевозок грузов на железнодорожном транспорте. Книга 1. // Российская газета. – 2003. – Специальный выпуск.

2. Федеральный закон «Устав железнодорожного транспорта Российской Федерации (Собрание законодательства Российской Федерации, 2003, № 2, ст. 170).

3. Временные условия транспортировки скоропортящихся грузов в универсальных вагонах–термосах постройки ГДР в прямом сообщении: Приложение к указанию МПС СССР № ЦМКХ–2/23 от 01.08.90. – М.: МПС СССР, 1990.

4. Временные условия перевозок скоропортящихся и продовольственных грузов по железным дорогам России в ИВ–термосах: Приложение к указанию МПС России № Д-2020у от 29.12.01. – М.: МПС России, 2001.

5. Временные условия перевозок скоропортящихся и продовольственных грузов в универсальных контейнерах: Приложение к указанию МПС РФ № К–627у от 27.04.99. – М.: МПС России, 1999.

6. Условия перевозок скоропортящихся грузов в крупнотоннажных рефрижераторных контейнерах (КРК) производства иностранных фирм на сцепах специализированных платформ и порядок обслуживания КРК при перевозках во внутреннем железнодорожном сообщении: Указание МПС № ЦМХ–2/56 от 10.12.02.– М: МПС России, 2002.

7. Инструкция по ветеринарно–санитарной обработке вагонов после перевозки животных, продуктов и сырья животного происхождения. – М.: МПС России, 2000.

г. Новосибирск ул. Кавалерийская, 2	тел. [phone] тел. [phone]; тел. [phone]
ул. Плахотного, 27/1	тел. [phone]; тел. [phone]
ул. Ватутина, 23	тел. [phone]
ул. Советская, 19 ул. Кошурникова, 8 ул. Б. Хмельницкого, 47	тел. [phone]; тел. [phone] тел. [phone] тел. [phone]
ул. Николаева, 11/1 (Технопарк)	тел. [phone]
Октябрьская магистраль, 3 г. Барнаул ул. Партизанская, 92 Проспект Строителей, 16 ул. А. Петрова, д.198 г. Бийск ул. Озерная, 6	тел. [phone]   тел. [phone] тел. [phone] тел. [phone]   тел. [phone]

Сайт: www.gazprombank.ru

Учебное пособие

Cанкт-Петербург

Издательство СПбГЭТУ «ЛЭТИ»

УДК 621.382

ББК З 844.1

А 46

А 46 Технологические процессы изготовления СБИС. Учеб. пособие. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2015. 56 с.

ISBN 5-7629-0639-6

Рассмотрены физика, химия и технология основных высокотемпературных операций изготовления СБИС: термического окисления, ионной имплантации, эпитаксиального наращивания и диффузии легирующих примесей. Представлены математические модели процессов и проведён анализ экспериментальных зависимостей. Особое внимание обращено на генерацию собственных точечных дефектов и на образование структурных дефектов, способных влиять как на скорость процессов в твёрдых телах, так и на качество получаемых полупроводниковых структур.

Предназначено для студентов специальности 200300 «Электронные приборы и устройства» и магистрантов направления 550700 «Электроника и микроэлектроника» по дисциплинам «Специальные вопросы технологии ИМС» и «Технология СБИС».

УДК 621.382

ББК З 844.1

Рецензенты: кафедра физической электроники СПбГТУ;
проф., д-р физ.-мат. наук В. В. Козловский (СПбГТУ).

Утверждено

редакционно-издательским советом университета

в качестве учебного пособия

ISBN 5-7629-0639-6 ã СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2015

Дата добавления: 2017-02-01