![]() КАТЕГОРИИ: Архитектура-(3434)Астрономия-(809)Биология-(7483)Биотехнологии-(1457)Военное дело-(14632)Высокие технологии-(1363)География-(913)Геология-(1438)Государство-(451)Демография-(1065)Дом-(47672)Журналистика и СМИ-(912)Изобретательство-(14524)Иностранные языки-(4268)Информатика-(17799)Искусство-(1338)История-(13644)Компьютеры-(11121)Косметика-(55)Кулинария-(373)Культура-(8427)Лингвистика-(374)Литература-(1642)Маркетинг-(23702)Математика-(16968)Машиностроение-(1700)Медицина-(12668)Менеджмент-(24684)Механика-(15423)Науковедение-(506)Образование-(11852)Охрана труда-(3308)Педагогика-(5571)Полиграфия-(1312)Политика-(7869)Право-(5454)Приборостроение-(1369)Программирование-(2801)Производство-(97182)Промышленность-(8706)Психология-(18388)Религия-(3217)Связь-(10668)Сельское хозяйство-(299)Социология-(6455)Спорт-(42831)Строительство-(4793)Торговля-(5050)Транспорт-(2929)Туризм-(1568)Физика-(3942)Философия-(17015)Финансы-(26596)Химия-(22929)Экология-(12095)Экономика-(9961)Электроника-(8441)Электротехника-(4623)Энергетика-(12629)Юриспруденция-(1492)Ядерная техника-(1748) |
Уравнение диффузии при термическом окислении
При наличии границы, движущейся со скоростью U, обычное уравнение диффузии с постоянным коэффициентом диффузии D при введении новой координаты y, отсчитываемой от границы (поверхности кремния), y = x – Ut, преобразуется к виду Граничное условие для этого уравнения диффузии выводится из условия баланса примеси на движущейся МФГ. В условиях равновесной сегрегации (С = m s C ox), а также при r >>1 изменение количества примеси в прокисленном слое кремния обусловлено диффузионным оттоком примеси в кремний: dQ – dQ ox = jdt, где dQ – количество примеси в прокисленном слое кремния толщиной dx; dQ ox– количество примеси в образовавшемся слое диоксида кремния шириной dx ox (dx = a dx ox); j – диффузионный поток примеси из прокисленного слоя в кремний, который по 1-му закону Фика имеет вид
Откуда имеем условие и получаем граничное условие Аталлы–Танненбаум для равновесной сегрегации
где Сb – исходная концентрация примеси в однородно легированном кремнии; С s – установившаяся концентрация примеси на поверхности кремния (при y = 0).
Дата добавления: 2017-02-01; Просмотров: 51; Нарушение авторских прав?; Мы поможем в написании вашей работы! Нам важно ваше мнение! Был ли полезен опубликованный материал? Да | Нет |