КАТЕГОРИИ: Архитектура-(3434)Астрономия-(809)Биология-(7483)Биотехнологии-(1457)Военное дело-(14632)Высокие технологии-(1363)География-(913)Геология-(1438)Государство-(451)Демография-(1065)Дом-(47672)Журналистика и СМИ-(912)Изобретательство-(14524)Иностранные языки-(4268)Информатика-(17799)Искусство-(1338)История-(13644)Компьютеры-(11121)Косметика-(55)Кулинария-(373)Культура-(8427)Лингвистика-(374)Литература-(1642)Маркетинг-(23702)Математика-(16968)Машиностроение-(1700)Медицина-(12668)Менеджмент-(24684)Механика-(15423)Науковедение-(506)Образование-(11852)Охрана труда-(3308)Педагогика-(5571)Полиграфия-(1312)Политика-(7869)Право-(5454)Приборостроение-(1369)Программирование-(2801)Производство-(97182)Промышленность-(8706)Психология-(18388)Религия-(3217)Связь-(10668)Сельское хозяйство-(299)Социология-(6455)Спорт-(42831)Строительство-(4793)Торговля-(5050)Транспорт-(2929)Туризм-(1568)Физика-(3942)Философия-(17015)Финансы-(26596)Химия-(22929)Экология-(12095)Экономика-(9961)Электроника-(8441)Электротехника-(4623)Энергетика-(12629)Юриспруденция-(1492)Ядерная техника-(1748) |
Оптическое поглощение в полупроводниках
2.1 Оптические характеристики твердых тел Распространение видимого и инфракрасного излучений в проводящей среде и поведение такого излучения на границе раздела двух различных сред описываются уравнениями Максвелла, характеризующими в самом общем виде распространение электромагнитных волн. Эти уравнения записываются в виде
где обозначения имеют общеизвестный смысл.
Для однородной изотропной среды
где
Предполагается, что С учетом (2.5 – 2.7) уравнения (2.1 – 2.4) имеют вид:
Из (2.9) и (2.10), учитывая, что
или при упрощении
Аналогичное уравнение получается для вектора Решение для одного из компонентов вектора
где
Это решение удовлетворяет уравнению (2.13) при условии
Выражение (2.14) описывает волну, распространяющуюся в направлении Если же среда характеризуется конечной проводимостью, то можно ввести комплексный показатель преломления, который запишется в виде
Для вакуума, когда
Если представить комплексную величину
то уравнение (2.14) запишется следующим образом:
Это выражение описывает волну с частотой Мнимая часть комплексного показателя преломления к, называется показателем поглощения (показателем затухания) или коэффициентом экстинкции. Аналогичное выражение для магнитного поля можно получить подстановкой найденного решения в уравнение (2.8) при
Коэффициент поглощения
где
Из соотношений (2.17) и (2.18) вытекает
Отсюда получаем
Если В случае нормального падения коэффициент отражения определяется формулой
Когда
Если Коэффициент пропускания I есть отношение интенсивности света, прошедшего через образец, к интенсивности падающего, т.е.
2.2 Электронные переходы в полупроводниках при взаимодействии с электромагнитным излучением Вероятность перехода квантовой системы из состояния а в состояние b под действием возмущения, периодически изменяющегося во времени с частотой
где матричный элемент перехода
Здесь
Состояния Выражение (2.30) имеет простую структуру и его удобно представить графиком типа диаграмм Фейнмана, изображающим в наглядной форме развитие процесса во времени. С каждым членом в (2.30) сопоставим диаграммы
Здесь каждой точке на графике соответствует матричный элемент, например
где
И наконец, по всем промежуточным состояниям проводится суммирование. Пользуясь вполне определенными правилами можно по диаграмме написать аналитические выражения, соответствующие данному переходу. В отличие от (2.29) и (2.30) в выражениях (2.33) и (2.34) энергия фотона Для того чтобы был возможен оптический переход из состояния
Рисунок 2.1 – Прямой переход из состояния j валентной зоны в состояние f зоны проводимости при поглощении фотона
Рассмотрим для определенности квантовый переход из состояния j валентной зоны в состояние f зоны проводимости при поглощении кванта электромагнитной энергии На языке электронно-дырочного формализма рисунке 2.1,б свидетельствует о том, что в начальном состоянии имелся фотон Точка на диаграмме означает взаимодействие и ей соответствует матричный элемент возмущения:
где V – возмущение.
Интегрирование в выражении (2.35) проводится по всему объему, а значок Представленные на рисунке 2.1 диаграммы изображают процессы собственного поглощения за счет переходов Рассмотрим условие, при котором возможен переход из состояния j в состояние f непосредственно, т.е. при взаимодействии только с фотоном. Возмущение V при этом можно записать в виде плоской монохроматической волны.
где
Волновые функции электронов в кристалле представляются в виде Блоховских функций:
где
После подстановки выражений (2.36), (2.37) и (2.38) в выражение (2.35) подынтегральная функция в матричном элементе содержит множитель
который быстро и периодически осциллирует в пространстве, за исключением случая
Поэтому при интегрировании по Отсюда вытекает правило отбора по волновому вектору при непосредственных оптических переходах:
где
Условие (2.40) аналогично закону сохранения импульса. Домножив обе части выражения (2.40) на
В видимой и инфракрасной областях спектра величина волнового вектора фотона
Именно поэтому на диаграмме (2.1,а) соответствующий переход изображен вертикальной линией и называется прямым или вертикальным переходом. Для реального перехода должен также выполняться закон сохранения энергии. Таким образом, непосредственные оптические переходы возможны только между состояниями с одинаковыми волновыми векторами, т.е. расположенными в одной и той же точке
Рисунок 2.2 – Непрямой оптический переход из состояния j валентной зоны в состояние f зоны проводимости при поглощении фотона
Под действием электромагнитного возмущения электрон переходит из состояния j в промежуточное, виртуальное состояние l. Таким состоянием, например, может являться более глубоко лежащее состояние зоны проводимости. Время пребывания электрона
Знаки (+) и (-) в выражениях (2.43) и (2.44) соответствуют случаям поглощения и испускания фононов. Оптические переходы между состояниями с различными значениями волного вектора называются непрямыми переходами. Они разрешены лишь во втором приближении теории возмущений с участием рассеивающих центров, и поэтому вероятность таких переходов существенно меньше, чем прямых.
2.3 Собственное поглощение
2.3.1 Прямые переходы Рассмотрим поглощение, связанное с переходами между двумя прямыми долинами при условии, что все переходы с сохранением импульса разрешены (рисунок 2.1), т.е. вероятность перехода Коэффициент поглощения
Для разрешенных прямых переходов Каждому начальному состоянию
Энергии
Поэтому
где
Комбинированная плотность состояний вычисляется как
Следовательно, коэффициент поглощения выражается формулой
где коэффициент А имеет вид
Принимая показатель преломления
где
В некоторых полупроводниках прямые переходы при
где
Принимая
2.3.2 Непрямые переходы Для непрямых переходов:
где
В случае непрямых переходов возможны переходы из любого занятого состояния валентной зоны в любое свободное состояние зоны проводимости. Можно показать, что
где
l – число минимумов в зоне проводимости.
Энергия электрона При поглощении фононов
При
Тогда комбинированная плотность состояний
Для непрямых переходов с испусканием фононов
Коэффициент поглощения Согласно статистике Бозе-Эйнштейна, число фононов определяется формулой
Тогда величина коэффициента поглощения для непрямых переходов с поглощением фононов определяется выражением
где В – постоянная величина.
Вероятность испускания фонона пропорциональна
Поскольку при Спектральная зависимость коэффициента поглощения для непрямых межзонных переходов с участием одного типа фононов представлена на рисунке 2.3.
Рисунок 2.3 – Спектральная зависимость коэффициента поглощения для непрямых переходов
Для разделения процессов с испусканием и поглощением фононов необходимо исследование температурных зависимостей коэффициента поглощения. При очень низких температурах плотность фононов весьма мала (знаменатель в формуле (2.58) велик), поэтому коэффициент
Рисунок 2.4 – Температурные зависимости коэффициента поглощения для непрямых переходов
Кривые на рисунке 2.4. сдвинуты относительно друг друга, это отражает температурную зависимость ширины запрещенной зоны. Обычно имеется несколько типов фононов, поэтому при определении коэффициента поглощения проводится суммирование по всем фононным ветвям:
где i – тип фонона.
При выводе выражений (2.58) и (2.59) переход
Непрямые запрещенные переходы практически не проявляются в поглощении, т.к. такие переходы идут не через виртуальные состояния l, а более высокие энергетические состояния. В сильно легированных полупроводниках с непрямыми переходами сохранение импульса обеспечивается за счет таких процессов рассеяния, как например, электрон – электронное или примесное. В этом случае вероятность рассеяния пропорциональна числу рассеивателей N и участия фонона не требуется. Все зависимости
2.4 Экситонное поглощение Теория собственного поглощения, рассмотренная в разделе 2.3, не учитывала кулоновского притяжения в возбужденной электронно-дырочной паре. При поглощении фотона в полупроводниках кулоновское притяжение может привести к образованию возбужденного состояния, в котором электрон и дырка остаются связанными друг с другом в водородоподобном состоянии. Энергия образования этого возбужденного состояния, называемого экситоном, меньше ширины запрещенной зоны, поскольку последняя представляет собой минимальную энергию, требуемую для создания разделенной электронно-дырочной пары и, следовательно, для возникновения фотопроводимости. Экситон может двигаться по кристаллу, фотопроводимость при этом не возникает. В полупроводниках кулоновское притяжение мало, поэтому энергии связи электрона и дырки порядка 0,04 эВ и экситонные орбиты охватывают ряд элементарных ячеек кристалла (радиус орбиты ≈ 15 нм). Такие экситоны хорошо описываются моделью Ваннье, в которой используется приближение эффективной массы; при этом носителям' заряда приписываются эффективные массы, соответствующие краям зоны проводимости и валентной зоны. Энергия образования экситона определяется формулой
где
Второе слагаемое в (2.61) представляет собой кинетическую энергию движения экситона. В частности, при
где
Энергия ионизации экситона определяется выражением
Таким образом, движение экситона по кристаллу описывается с помощью экситонных зон, однако зависимости Оптическим переходам с образованием экситонов обычно соответствуют узкие пики на краю собственного поглощения полупроводников с прямыми переходами или ступеньки на краю поглощения полупроводников с непрямыми переходами. Для вертикальных переходов в
Интенсивность отдельной линии пропорциональна вероятности найти два носителя вместе в связанном состоянии; для разрешенных переходов она убывает по закону Время жизни экситона может уменьшаться также за счет рассеяния на примесях и дефектах, что приводит к дополнительному уширению линий. В большинстве полупроводников, у которых энергия связи экситона в основном состоянии порядка 4 мэВ, даже при низких температурах наблюдается один пик (рисунок 2.5).
Рисунок 2.5 – Экситонное поглощение в GaAs
В случае непрямых переходов линейчатый спектр экситонов не наблюдается, а наблюдаются ступеньки на краю поглощения. Форма кривой поглощения для низшей экситонной зоны (
Поглощение, связанное с зоной
Величина коэффициента поглощения определяется выражениями:
при испускании фононов и при поглощении фононов
где
В общем случае
где i – типа фонона.
Структура края поглощения при образовании непрямых экситонов с участием нескольких фононов представлена на рисунке 2.6.
Рисунок 2.6 – Структура края поглощения GaP
При определенных условиях образуются экситоны, локализованные на дефектах различного рода (связанные экситоны). Экситоны локализуются, например, на нейтральных донорах и акцепторах, заряженных донорах. Наиболее эффективно экситоны локализуются на изоэлектронных ловушках. Изоэлектронные центры образуются в результате замещения атома кристаллической решетки другим атомом с той же валентностью. Примером может служить азот, замещающий фосфор в GaP (или висмут, замещающий галлий в GaP). Из-за разностей геометрических размеров, псевдопотенциала и электроотрицательностей изоэлектронного центра и замещаемого им элемента решетки, ловушка представляет собой сильно локализованную потенциальную яму. Возникает короткодействующий потенциал, позволяющий нейтральному центру захватить носитель заряда, например, электрон; в результате центр оказывается заряженным. Образующееся кулоновское поле притягивает дырку; два захваченных носителя представляют собой экситон, связанный с изоэлектронной ловушкой. Наиболее хорошо изученной примесью является азот в GaP. В присутствии азота поглощение вблизи основной полосы в GaP очень сильно увеличивается. Связанный экситон не передвигается по кристаллу, поэтому он проявляется в поглощении в виде очень узкой резонансной линии. Кристаллы GaP,содержащие ~ 1019 см-3 азота, вследствие сильного поглощения, обусловленного образованием связанных экситонов, выглядят красными, в то время как обычный материал при 300К имеет медово-желтый цвет.
2.5 Влияние легирования на край собственного поглощения При легировании полупроводника примесями край собственного поглощения меняется как по форме, так и по энергетическому поглощению вследствие следующих явлений.
1 Экранирование экситонных эффектов. Кулоновское поле между двумя носителями может быть заэкранировано благодаря присутствию других свободных носителей. При высоких концентрациях носителей, когда длина экранирования становится сравнимой с расстоянием между электроном и дыркой, образующими пару, экситонные эффекты весьма сильно ослабляются. При достаточно больших концентрациях примесей
экситонные эффекты исчезают. 2 Сдвиг края собственного поглощения в вырожденном материале (эффект Бурштейна-Мосса). В материале 3 Переходы в "хвосты" плотности состояний. При оптических переходах с участием "хвостов" плотности состояний энергия соответствующих фотонов 4 Рассеяние квазиимпульса на примесях и свободных носителях заряда. В спектре собственного поглощения при непрямых переходах появляется бесфононный компонент в поглощении:
При большой концентрации примесей возможны процессы рассеяния квазиимпульса при прямых переходах, что сказывается на форме края поглощения.
2.6 Примесное поглощение Виды оптического поглощения с участием примесей приведены на рисунке 2.7.
Рисунок 2.7 – Схема электронных переходов для примесного поглощения
1,1 – фотононизация мелких доноров и акцепторов (1 – переход дырок); 2,2 – фотовозбуждение доноров и акцепторов (2 –переход для дырок); 3,3' – фотонейтрализация доноров и акцепторов; 4,4' – фотононизация глубоких центров; 5 – оптическое поглощение на связанном экситоне; 6 – межпримесное оптическое поглощение; 7 – внутрицентровые переходы.
Простейший вид поглощения, связанного с примесными уровнями – переход электрона из основного состояния в возбужденное состояние нейтральной примеси. Такое поглощение обычно наблюдается при энергиях фотона, значительно меньших энергии края поглощения. Возбуждение электронов примеси, т.е. перевод электрона из основного состояния в какое-либо из возбужденных состояний приводит к появлению линейчатого спектра поглощения. Так на типичной кривой поглощения для Si с примесью B четко выступают три линии поглощения, обусловленные возбуждением электрона с основного уровня (рисунок 2.8).
Рисунок 2.8 – Зависимость коэффициента поглощения для образца кремния, легированного бором, от энергии фотона
Наблюдаются пики поглощения, связанные с переходами в состояния с Переходы 3,3' проявляются в компенсированных полупроводниках. Энергии переходов принимают значения вблизи края собственного поглощения, как показано на рисунке 2.9, где неглубокие акцепторный и донорный уровни представлены отрезками горизонтальных прямых.
Рисунок 2.9 – Схема электронных переходов, обуславливающих фотонейтрализацию примесных центров
По сравнению с донорным акцепторное состояние размазано в Для наблюдения такого пика требуются обычно очень низкие температуры для устранения уширения линии, вызванного рассеянием на фононах, но понижение температуры приводит также к заселению донорных уровней электронами. Кроме того, концентрация доноров должна быть невелика, чтобы не происходило образования примесной зоны. Переходы между акцепторными уровнями и зоной проводимости должны проявляться в виде уступа или ступеньки на краю поглощения, с порогом при энергии
Рисунок 2.10 – Примесное поглощение в JnSb, легированном цинком и кадмием На практике поглощение, связанное с мелкими примесями, трудно выделить на фоне поглощения, связанного с переходами между хвостами зон. При участии в процессах оптического поглощения глубоких примесей форма спектра поглощения определяется, в основном, электрон-фононным взаимодействием, характерны широкие безструктурные полосы. В компенсированных полупроводниках возможны переходы из акцепторных состояний в донорные. Такие переходы отчетливо проявляются в излучательной рекомбинации. Внутрицентровые переходы наблюдаются при легировании полупроводника элементами с незастроенными внутренними оболочками, например, элементами группы железа, лантаноидами. Полупроводник выполняет роль матрицы, а переходы происходят между внутренними состояниями одного и того же атома или иона, аналогично тому, как они происходят в свободных, изолированных атомах или ионах.
2.7 Оптическое поглощение при внутризонных переходах В полупроводниках n-типа возможны внутризонные переходы между различными подзонами зоны проводимости и в пределах той же долины (рисунок 2.11).
Рисунок 2.11 – Спектр поглощения GaP
1 – прямые внутризонные переходы в точке (100) между минимумами подзон x1 и х3; 2 – переходы внутри той же долины; 3 – непрямые внутризонные переходы между минимумами подзон х1 и Г1; 4,5 – фотононизация доноров при переходах в подзоны x1 и х3 .
Переходы (3) – непрямые и характеризуются меньшей вероятностью, чем переходы типа (1). При низких температурах спектр поглощения, обусловленный внутризонными переходами (1) трансформируется в спектр примесного поглощения – переходы (4) и (5). Внутризонные переходы между различными подзонами зоны проводимости наблюдаются также в AlSb, GaAs, SiC. В полупроводниках р -типа, где потолок валентной зоны занят дырками, возможны три типа переходов, обусловленных поглощением фотонов (рисунок 2.12): 1 – из зоны легких дырок 2 – из зоны 3 – из отщепленной зоны
Рисунок 2.12 – Внутризонные переходы в полупроводниках р -типа
2.8 Поглощение свободными носителями Поглощение свободными носителями заряда наблюдается при переходах в пределах одной долины (рисунок 2.11, переход 2). Такие переходы являются непрямыми и возможны при наличии рассеяния. Поглощение свободными носителями характеризуется монотонным, часто безструктурным спектром, описываемым законом
где A, B, C – константы;
2.9 Решеточное поглощение Оптическое поглощение на колебаниях решетки происходит в результате взаимодействия электромагнитного поля световой волны с движущимися зарядами узлов решетки. Энергия фотона
2.10 Спектры собственного поглощения кристаллов кремния, германия и арсенида галлия На рисунке 2.13 показан спектр собственного поглощения кремния, вид которого характерен вообще для чистых полупроводников. Коэффициент поглощения d изменяется в пределах многих порядков величины. В твердом теле имеется множество заполненных и свободных энергетических зон, каждая из которых в свою очередь состоит из нескольких подзон, поэтому в спектрах собственного поглощения наблюдается ряд широких полос со структурой, что определяется сложным строением каждой из зон.
Рисунок 2.13 – Спектр собственного поглощения нелегированного кремния
Минимальная энергия фотонов, при которой начинается собственное поглощение в идеальных кристаллах, определяется шириной запрещенной зоны На рисунке 2.14 показан спектр собственного поглощения арсенида галлия, полупроводника с прямой структурой зон.
Рисунок 2.14 – Край собственного поглощения в арсениде 1.2 галлия при комнатной температуре
Теоретически в соответствии с выражением (2.51) коэффициент поглощения должен обращаться в нуль при Спектр собственного поглощения германия приведен на рисунке 2.15.
Рисунок 2.15 – Край собственного поглощения в германии при температуре 77 и 300 К
Край собственного поглощения в германии, как и в кремнии, обусловлен непрямыми переходами. Перегиб на кривых при
2.11 Край собственного поглощения полупроводниковых твердых растворов Кроме бинарных соединений элементов III и V групп, таких как GaAs, InP, GaP, AlAs и др., большое значение для оптоэлектроники имеют твердые растворы на их основе. Принципиально важной особенностью твердых растворов является возможность плавно и в широких пределах изменять параметры материала путем изменения его состава, что позволяет получать материал с точно заданным набором основных характеристик. Образование твердых растворов в полупроводниках группы Возможны и четырехкомпонентные твердые растворы типа Gax In1-x AsyP1-y. На рисунке 2.16 приведены упрощенные энергетические диаграммы для электронных состояний в кристаллах арсенида галлия и фосфида галлия.
Рисунок 2.16 – Упрощенные энергетические диаграммы арсенида 1.4 галлия и фосфида галлия
Энергетические зазоры, отсчитанные от потолка валентной зоны до одного из минимумов зоны проводимости, обозначены символом
Рисунок 2.17 – Изменение "прямого" (
Для кристаллов GaAs1-x Px при Характеристики энергетической зонной структуры некоторых полупроводниковых твердых растворов приведены в таблице 2.1.
Таблица 2.1 – Значения ширины запрещенной зоны (в электронволътах) и состава, соответствующих переходу к непрямозонному полупроводнику, для некоторых тройных твердых растворов соединений типа A3B5 (при 300 К)
Примечание: индекс (о) означает прямую, a (1) – непрямую структуру энергетических зон. В полупроводниковых твердых растворах с изменением их состава край собственного поглощения будет сдвигаться по энергии в соответствии с изменением ширины запрещенной зоны:
(см. также рисунок 2.17). На рисунке 2.18 приведены экспериментальные данные по краю собственного поглощения кристаллов GaAs1-x Px.
Рисунок 2.18 – Край собственного поглощения твердых растворов GaAs1-x Px при Т=4.2 К для различных составов х
В области составов
Дата добавления: 2014-01-07; Просмотров: 5039; Нарушение авторских прав?; Мы поможем в написании вашей работы! |