Работать на установке, строго выполняя все пункты инструкции

Внимание!

Распыления

Исследование основных закономерностей ионно-плазменного

Задание

1. В качестве мишени использовать диск из Fe, Ni, Cu, Mo, V (по заданию преподавателя).

2. Получить зависимость скорости осаждения пленки (V_oc) или толщины (d) от следующих параметров:

a) d=f(t) при U_м=const, I_р= const, Р= const;

б) V_ос=f(U_м) при I_р= const, Р= const, t = const;

в) V_ос=f(I_p) при U_м=const, Р= const,t = const.

Параметры процесса распыления должны задаваться преподавателем и находиться в следующих пределах:

время распыления t – 1 – 20 мин;

ток разряда I_p - 200–600 мА

напряжение мишени U_м – 800–3200 В;

давление газа Р – 70–90 дел.

В качестве плазмообразующего газа использовать аргон с содержанием примесей 0,05%.

Порядок выполнения работы

ТЕХНИКА БЕЗОПАСНОСТИ

1. Во избежание поражения электрическим током при включенной установке не прикасаться к выводам анода и мишени.

2. При откачке вакуумной системы стеклянный колпак должен быть накрыт защитной сеткой.

Получить стеклянные подложки, обработать их, как в предыдущих работах, и закрепить в держателе. Закрыть систему колпаком.

Исходное положение:

Вентили "Байпас", "Форвакуум", "Затвор диф. насоса" - закрыты. Вентиль "Напуск воздуха в насос" - открыт. Все тумблеры выключены, ручки "Регулировка тока разряда" и "Регулировка тока мишени" - в крайнем левом положении (выведены). Натекатель и кран "Напуск воздуха в систему" - закрыты.

Включение установки

1. Закрыть вентиль "Напуск воздуха в насос".

2. Открыть воду (средний кран на стене). Высота фонтанчика - до отметки на стеклянной колбе.

З. Включить форвакуумный насос нажатием верхней кнопки "Форвакуумный насос". При этом загорается зеленый индикатор над кнопкой и белый индикатор "Затвор диф. насоса закрыт".

4. Открыть вентили "Фор. насос" и "Байпас".

5. Открыть вентиль "Затвор диф. насоса" вращением его против часовой стрелки. При этом загорается красный индикатор "Затвор диф. насоса открыт".

6. Закрыть вентиль "Байпас".

7. Когда давление в системе достигнет 10^-1 торр или 12 дел. по шкале вакууметра, включить тумблер "Диф. насос". При этом загорается зеленый индикатор.

8. Откачать систему до предельного вакуума (примерно, 5·10^-5 торр).

9. С помощью натекателя установить требуемое давление рабочего газа.

10. Включить тумблер "Накал катода". При этом загорается зеленый индикатор. За счет газовыделений с катода величина вакуума может ухудшиться. После обезгаживания катода давление в системе должно восстановиться.

11. Включить тумблер "Разряд". Загорается зеленый индикатор.

12. Поворачивая ручку "Регулировка тока разряда" установить требуемый ток. В момент зажигания разряда значение вакуума за счет газовыделений со стенок системы может ухудшиться. Если показания вакуумметра при этом упадут ниже 40 дел. - немедленно выключить тумблеры "Разряд" и "Накал катода". Через несколько минут после зажигания разряда давление в системе должно установиться до первоначального значения.

13. Включить тумблер "Мишень". Загорается зеленый индикатор.

14. Плавно поворачивая ручку "Регулировка тока мишени" по часовой стрелке, установить нужное напряжение на мишени. С этого момента начинается процесс распыления мишени и осаждения пленки на подложке.

Во время распыления необходимо постоянно следить за показаниями приборов. При зашкаливании стрелок приборов "Ток разряда" или "Ток мишени" немедленно выключить тумблеры "Разряд" и "Мишень".

15. После получения пленки нужной толщины напряжение на мишени уменьшить до нуля. Выключить тумблер "Мишень". Ручку "Регулировка тока разряда" вывернуть против часовой стрелки до упора. Тумблер "Разряд" выключить. Тумблер "Накал катода" выключить.

16. Закрыть натекатель (до упора).

17. Через 10-15 мин закрыть "Затвор диф. насоса".

I8. Открыть кран "Напуск воздуха в систему".

19. Снять колпак. Извлечь из держателя подложки с пленкой.

В случае необходимости повторного напыления поместить в держатель новые подложки.

20. Закрыть кран "Напуск воздуха в систему".

21. Закрыть камеру колпаком.

22. Закрыть вентиль "Форвакуум".

23. Открыть вентиль "Байпас". Когда давление в системе достигнет величины 10^-1 торр закрыть вентиль "Байпас", открыть вентили "Форвакуум" и "Затвор диф. насоса".

Далее проделать указания пунктов с 8-го по 19-й.

Выключение установки

После пункта 19 выполнить следующее:

24. Поставить колпак на систему.

25. Выключить тумблер "Диф. насос".

26. Через 20 мин закрыть вентиль "Форвакуум" и выключить форвакуумный насос нажатием нижней кнопки "Фор. насос".

27. Открыть вентиль "Напуск воздуха в насос".

28. Закрыть воду.

Дата добавления: 2014-12-23