ВВЕДЕНИЕ. Лабораторный практикум

По электротехнике

Лабораторный практикум

В. П. Мироненко

Метод фотолитографии

Метод контактной маски.

Контактная маска изготовляется непосредственно на подложке и держится на ней благодаря адгезии. Материал маски (медь, алюминий, никель, фоторезист) должен выдерживать условия нанесения материала тонкой пленки, не испаряясь и не взаимодействуя химически с этим материалом и легко удаляться с подложки способами, не влияющими на свойства материала тонкой пленки. На подложку с контактной маской (рисуноу 5.5в) наносят слой материала, из которого будут формироваться тонкопленочные элементы. Если теперь на полученную заготовку воздействовать травителем или растворителем для материала маски, то маска, удаляясь с подложки, увлекает с собою и лежащие на ней участки слоя напыленного материала. И он остается только на тех местах, где был нанесен непосредственно на поверхность подложки (рисунок 5.5г).

Метод контактной маски обеспечивает большую точность и четкость края, и применим как для вакуумного, так и для катодного распыления.

Метод фотолитографии аналогичен методу фотолитографии, применяемом в ППИМС при изготовлении металлических проводящих пленок (раздел 3.4). Размеры элементов могут быть такими же малыми, как и в ППИМС, но в этом нет необходимости.

Учебно-методическое пособие

Нижневартовск

Р е ц е н з е н т ы:

доктор физ.-мат. наук, наук, профессор,

заведующий кафедрой «Информатика»

филиала ЮУрГУ в г. Нижневартовске П. М. Косьянов

канд.физ.-мат. наук, доцент,

заведующий кафедрой «Математика и

естественные науки» НЭПИ,

филиала ТюмГУ Н. П. Дмитриев

Мироненко В. П.

Лабораторный практикум по электротехнике. Учебно-методическое пособие /В.П. Мироненко – Нижневартовск: НГГУ, 2010 - с.52,

Ил.41, табл.7, список лит. 5 –назв.

Пособие предназначено в помощь студентам при выполнении лабораторных работ по электротехнике. Приведены описания лабораторных работ, основные теоретические положения, методические рекомендации. Лабораторный практикум разработан на основе программы Electronics Workbench.

В приложении представлены материалы по выполнению отдельных работ.

Мироненко В.П.

Содержание

ВВЕДЕНИЕ. 6

Лабораторная работа 1. 8

Лабораторная работа 2. 17

Лабораторная работа 3. 26

Лабораторная работа 4. 32

Лабораторная работа 5. 42

Приложения

- к лабораторной работе №1……………………………………….46

- к лабораторной работе №3. 58

Библиографический список. 52

Лучше сосредоточенно измерять.

Чем безответственно переизмерять

Из опыта бывалых

Лабораторные работы – завершающий этап освоения материала очередного раздела дисциплины.

В процессе выполнения лабораторной работы студент:

- используя теоретический багаж и проводя заданные

эксперименты, решает конкретную задачу,

- приобретает навыки анализа/синтеза электрических схем в

среде EWB,

- осваивает измерительную аппаратуру и технику измерений,

- осмысливает логику (стратегию и тактику) эксперимента,

- осваивает технику выполнения (построение) эксперимента,

- научается анализировать и обобщать полученные результаты, делать самостоятельные выводы

Лабораторные работы разработаны на базе виртуальной лаборатории ELECTRONICS WORKBENCH.

Работа в среде EWB имитирует рабочее место радио-инженера и позволяет проводить исследования электрических цепей и электронных схем различной степени сложности.

Предполагается, что студент знаком с основами работы EWB.

Дата добавления: 2015-05-06